Colored timed Petri nets for modeling and analysis of cluser tools

In this paper, a colored timed resource‐oriented Petri net (CTROPN) is developed to model the cluster tools in semiconductor fabrication. It is structurally simple and concise, since each module in a cluster tool corresponds to a unique place in CTROPN. It is also powerful in modeling the qualitative and temporal behavior of the cluster tools with a single‐blade or dual‐blade robot. The initial transient behavior, steady‐state behavior and the final transient behavior can all be investigated through a single model. Copyright © 2010 John Wiley and Sons Asia Pte Ltd and Chinese Automatic Control Society     

离散事件仿真及其在半导体生产线建模中的应用

详细阐述了离散事件仿真技术的原理及其关键技术,并将其应用于半导体生产线建模。在分析半导体生产线系统的仿真需求的基础上,以单进程为离散事件处理机制,对12个加工中心、40台机器组成的半导体生产线进行了建模研究,验证了半导体生产线仿真的正确性。     

基于PID算法的大功率泵浦激光器温控系统设计

设计了一种基于数字PID算法的大功率泵浦激光器温度控制系统,该系统采用ARM2210作为处理器,高精度NTC（负温度系数热敏电阻）和TEC（半导体制冷器）分别作为温度传感器和温控执行元件,并对传统的PID算法和参数进行改进和整定、修正,驱动芯片选用MAX1968,在节省大量电路设计的同时大大提高了温度控制精度和抗干扰能力。实验结果表明：该系统在0～40℃温度范圆内的控温稳定性优于±0．05℃,能够有效抑制LD波长的漂移。     

Back‐channel‐etched thin‐film transistor using c‐axis‐aligned crystal In–Ga–Zn oxide

Our crystalline In–Ga–Zn oxide (IGZO) thin film has a c‐axis‐aligned crystal (CAAC) structure and maintains crystallinity even on an amorphous base layer. Although the crystal has c‐axis alignment, its a‐axis and b‐axis have random arrangement; moreover, a clear grain boundary is not observed. We fabricated a back‐channel‐etched thin‐film transistor (TFT) using the CAAC‐IGZO film. Using the CAAC‐IGZO film, more stable TFT characteristics, even with a short channel length, can be obtained, and the instability of the back channel, which is one of the biggest problems of IGZO TFTs, is solved. As a result, we improved the process of manufacturing back‐channel‐etched TFTs.     

改进区块遗传算法解决分布式车间调度问题

针对分布式车间调度问题,提出了改进区块遗传算法(modified block-genetic algorithm,MBGA).用NEH和随机性两种方式得到高质量的初始解,然后进行统计分析,选出精英染色体,建立工件-车间分配矩阵和工件-机器排序矩阵,挖掘联系紧密的基因链组成区块.构建基于区块的人工染色体,并进行基因重组,...     

有源光纤环脉冲复制器工作特性分析

为了研究向全光等效时间采样系统提供被采样一致脉冲序列的技术,讨论了使用有源光纤环脉冲复制器进行脉冲复制的方法。分析了利用环内注入直流光实现对复制器非线性增益与放大自发辐射噪声所导致误差的抑制。通过实验得到了复制器误差随环内注入直流光的变化趋势、复制器复制稳定性和误差分布的测量结果。结果表明,利用有源光纤环脉冲复制器可以有效地产生被采样等效时间周期脉冲序列。     

半导体企业高级订单承诺系统

为提高半导体企业的客户服务质量,研究半导体产业多工厂多阶段生产供应链系统和多客户关系、多产品市场环境下的订单承诺（Available-to-Promise,ATP）优化问题.以利润和客户满意度为目标,充分利用半导体产品之间的替代性,建立基于线性规划的高级ATP系统.该系统应用优化软件OPL将模型中的内容转化为OPL语言.仿真实验表明,该方法能帮助半导体企业提高订单响应速度,做出可靠ATP决策.     

改进的模糊交叉算子及其在CGA中的应用

基于标准化适应值信息,提出改进的模糊交叉算子,并应用到细胞状遗传算法(CGA)中。在具有局部搜索倾向的交叉操作中,该算子能使后代更偏向于适应值高的父体。在具有全局搜索倾向的交叉操作中,能使较差个体在更大范围内进行搜索,有效地引导CGA算法向全局最优解的方向收敛。仿真实验结果表明,基于改进模糊交叉算子的CGA算法性能更好。     

包含寄生参数的大功率半导体激光器等效电路模型

对大功率半导体激光器驱动电源仿真研究时,需要建立体现大功率半导体激光器电气特性的等效负载模型,目前的LD(Laser Diode)电路模型由于缺乏寄生参数而不适用.本文根据大功率半导体激光器的测试数据,通过分析改进LD的速率方程,建立了包含寄生参数的大功率半导体激光器等效电路模型.仿真结果表明:该等效电路模型的V-I曲线和P-I曲线与厂家给出的曲线一致,可以作为仿真大功率半导体激光驱动电源的等效负载.     

深凹露天矿采场内流场分布规律的试验与数值模拟

为探究大气风速对深凹露天矿山爆破排烟时间的影响,采用CFD数值模拟方法构建了深凹露天矿山爆破非稳态数值模型,模拟大气风速为3、6、9、15 m/s和不同爆破位置条件下炮烟扩散场景,研究了不同大气风速对深凹露天采坑内风流场特征和爆破排烟时间的影响。研究结果表明：不同爆破位置下,随着大气风速的增大,露天采坑内的风流分布呈现出单复环流向双复环流结构的转变;当大气风速大于6 m/s后,随着大气风速的增大,爆破炮烟排烟时间下降的幅度逐渐减小,大气风速对排烟时间的影响逐渐降低;不同爆破位置下,随着大气风速的增大,露天采坑爆破炮烟排烟时间均呈现下降趋势,且与大气风速呈现良好的指数函数关系。