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11.
具有RHEED在线监控功能的超高真空CVD系统及3″硅片低温外延研究 总被引:3,自引:1,他引:2
本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相溶积系统,本底真空达10^-7Pa。该系统配有反射高能电子衍射仪,可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控。 相似文献
12.
概述回热式气体制冷技术的现状和前景,对PT,G-M,St和Boreas等各种制冷机的重大技术革新进行了扼要介绍,指出发展趋势。 相似文献
13.
14.
15.
预处理工艺对硬质合金与金刚石膜间粘结力的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
在两种经不同预处理的硬质合金YG8基底上,采用微波等离子体化学气相沉积法,在微波功率2kW,压强4.0kPa和6.5kPa,CH4和H2流量分别为1.6cm/s和100.0cm/s的条件下生长金刚石薄膜。利用X射线衍射检测了金刚石薄膜是否存在,用拉曼光谱分析了薄膜的质量,用金相显微镜观察了薄膜的洛氏硬度压痕,标定并比较了不同预处理工艺膜与基底的结合力。实验结果表明,不同的预处理方法对于粘结力的影响不大,最主要的因素是钴含量的多少。 相似文献
16.
本对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评,重点强调了等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)的优势,进展及其在工模具领域的应用。 相似文献
17.
Review of the Equilibrium Fitting for Non—Circular Tokamak 总被引:7,自引:0,他引:7
罗家融 《等离子体科学和技术》2002,4(2):1183-1192
18.
白钨矿浮选731捕收剂低温乳化试验研究 总被引:2,自引:1,他引:1
介绍了731捕收剂在低温条件下试验的情况。试验研究结果表明,采用A和B药剂以5:6的比例混合组成的复合乳化剂对731进行乳化,低温时乳化体系稳定性好,浮选过程中降低乳化731的用量,同时提高了选择性,降低了浮选成本,实现了低温环境下白钨矿正常浮选作业,达到选矿技术攻关指标。 相似文献
19.
含氯取代基的聚间苯二甲酰间苯二胺的合成与表征 总被引:7,自引:0,他引:7
以 2 ,5 -二氯对苯二甲酰氯作为第三单体 ,将其与间苯二甲酰氯、间苯二胺在N ,N -二甲基乙酰胺中进行低温溶液共缩聚反应 ,合成了含氯取代基的聚间苯二甲酰间苯二胺。研究了单体摩尔浓度、反应初始温度、叔胺添加剂种类、第三单体用量等对共聚物相对分子质量的影响 ,并用红外光谱、热重分析等方法对共聚物进行了表征。 相似文献
20.