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991.
采用热丝化学气相沉积(HWCVD)方法沉积本征非晶硅薄膜,研究了热丝电流对薄膜结构及其钝化单晶硅片效果的影响.采用光谱型椭偏仪分析了非晶硅薄膜的介电常数虚部ε2和薄膜空位浓度的变化,采用傅里叶红外光谱测试仪分析了膜中Si-HX键,使用硅片的少子寿命表征钝化效果.结果表明:在热丝电流(两根直径为0.5 mm的钽丝的总电流)为20.5~23.5 A时,随着热丝电流增大薄膜中空位浓度逐渐增大,薄膜中氢总含量在热丝电流约22.0 A时出现峰值,而此时薄膜微观结构参数R*最小,钝化效果在约21.5A处出现峰值,对应的表面复合速率低至2.9 cm/s. 相似文献
992.
993.
994.
995.
为了研究SA-213此类材料受到不同Fe~(3+)质量浓度的影响而造成的腐蚀程度,并进一步研究Fe~(3+)受到清洗工作影响的实际情况,就需要在静态的环境下制定试验溶液—甲酸+羟基乙酸(复合有机酸)锅炉清洗液。但需要注意的是,此溶液的配置必须是在使用腐蚀失重法和电化学法的基础上。笔者根据多方面的研究调查得出,金属材质的锅炉或受到Fe~(3+)的严重腐蚀,并且腐蚀的面积会随着金属含量的增加而不断扩散;为了控制不断增长的Fe~(3+)速率,按照相关要求将一定比例的还原剂放入了试验中,并采取了系统隔绝空气的措施,使得剩余酸的浓度得以保持在标准范围,对Fe~(2+)的转换起到了控制作用。 相似文献
997.
998.
文章主要对某工业污染场地修复工程的方案设计进行简要介绍,该工业用地主要污染物为VOC及SVOCs,包括氯乙烯、苯并(a)芘、苯胺及邻苯二丁酯等。修复工程采用"常温解吸+异位化学氧化深度修复"技术对污染土壤进行修复,修复后的土壤经验收合格后的进行回填处置。 相似文献
999.