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1.
据报道,国家“863”攻坚课题太阳能切割和12英寸单晶硅抛光技术与设备,日前在上海日进机床有限公司开发研制成功,并通过日本专家的检测,其各项指标均已超过现有的传统标准。 相似文献
2.
本文介绍区熔单晶硅生产操作指导专家系统。首先,系统实现了连续图象的自动变周期、定瞬间采样,并提出一种新的区域扩张增量图象处理算法.其次,叙述了知识的获取过程及类规则,提出分布的多库结构,并实现了不确定性推理.最后,开发了区熔单晶硅生产操作指导专家系统,实现了从数据和图象采集、处理、事实获取、推理到给出操作指导一体化。 相似文献
4.
5.
6.
形成SOI结构的ELO技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了在常压外延系统中,利用 SiCl_4/H_2/Br_2体系在SiO_2上外延横向生长(ELO)单晶硅技术.比较了Br_2和HCl对硅的腐蚀速率,发现前者对娃的腐蚀速率约比后者慢一个数量级,指出Br_2的引入有着重要意义.给出了Br_2和H_2对Si和SiO_2的腐蚀速率曲线,讨论了外延横向生长速率对SOI结构的材料表面形貌的影响.在该 SOI膜上制造了 MOS/SOI器件,其N沟最大电子迁移率为360cm~2/V.s(沟道掺杂浓度为 1×10~(16)/cm~3),源-漏截止电流为 9.4×10~(-10)A/μm. 相似文献
7.
从分析有源矩阵液晶显示器的发展形势出发,着重介绍了薄膜单晶硅有源矩阵液晶显示器的优势和和制作过程,指出这种显示器目前有投影显示和小尺寸显示方面有较好的市场前景。 相似文献
8.
多晶硅用直拉法(CZ)或磁场直拉法(MCZ)拉制成单晶硅棒。晶体生长炉热场零件中的石墨发热体、坩埚等在机械应力和热应力的综合作用下发生变形或损坏造成失效,更换频繁。选用纯度高的炭纤维制成待制件的多孔坯体,经过增密、纯化处理制成炭/炭复合材料坩埚。试制的两体12″炭/炭复合材料坩埚进行了工业性试验。炭/炭复合材料机械强度高、耐热冲击性能和化学稳定性好,其使用寿命大大高于高纯石墨坩埚。两体的连接止口的氧化侵蚀限制了坩埚的使用寿命。单晶硅设备的大型化、炭/炭复合材料势必成为晶体生长炉热场零件的必选材料。 相似文献
9.
Non-contact atomic force microscopy(nc-AFM) atomic-scale imaging process of monocrystalline silicon surface using capped single-wall carbon nanotube tip is simulated by molecular dynamic method. The simulation results show that the nc-AFM imaging force mainly comes from the C-Si and C-C chemical covalent bonding forces, especially the former, the nonbonding Van der Waals force change is small during the range of stable imaging height. When the tip-surface distance is smaller than the stable imaging height, several neighboring carbon atoms at the tip apex are attracted, and some of them jump onto the sample surface. Finally the tip apex configuration is destroyed with the tip indenting further. 相似文献
10.