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本文研究了TiN薄膜在化学气相沉积、物理气相沉积(包括热灯丝离子镀和多弧离子镀)以及等离子增强化学气相沉积等不同生成条件下的内应力变化。并通过改变钢及硬质合金基体的化学成份和表面状态。考察了基体材料对薄膜应力的影响。在此基础上,对薄膜内应力的形成机制进行了分析讨论。 相似文献
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扫描电子显微研究表明，化学汽相沉积的金刚石薄膜中晶粒大小比较均匀。但随着沉积时间和薄膜厚度的增加，晶粒逐渐变大，且每一层内，存在少量的大金刚石颗粒，讨论了晶粒尺寸变化和大晶粒形成的原因和机制。 相似文献
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应用扫描电子显微镜对电沉积Ｃｕ／ＮｉＣｕ多层膜结构的表征张伟１薛群基１王友良２赵家政１（１．中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放室，兰州７３００００２．兰州大学材料系）近年来，由两种不同金属交替构成的多层金属复合膜的研究引起了人们极大的关注。发现... 相似文献
105.
该厂在脱硫工段引进了“双级自吸喷射再生槽”的新技术,自1989年投运至今,效益显著。文章对脱硫工段技改后的工艺流程及主要设备;技改重点;生产使用情况等作了介绍。 相似文献
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沥青质沉积问题文献综述 总被引：3，自引：0，他引：3
沥青质沉积问题文献综述李美霞前言在石油的生产、加工和储运过程中，沥青质沉积问题越来越受到人们的重视，目前已成为石油工业中需重点研究和解决的技术问题之一。在石油炼制过程中，将重质原油转为轻质燃料是石油研究领域的一个重要课题。在该转化过程中，沥青质不仅因... 相似文献
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