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互连工艺中第一次采用CMP是在Al互连中的钨塞(W Plug)的平坦化工艺中。主要原因是采用非选择性的WCVD工艺能够有效填充 相似文献
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一种激光微细熔覆直写布线的新技术 总被引:4,自引:7,他引:4
激光直写技术因其不需要掩模就可以在绝缘基板表面直接制备各种高精度、复杂形状的导电层而受到广泛重视。但是,布线速度过低和工艺复杂一直是阻碍该技术工业化应用的瓶颈。提出了一种以导电金属粒子、有机成膜物质构成的复合导电浆料为熔覆物质,以有机环氧板为绝缘基板,采用CO2激光加热直接制备线路板的新工艺、新方法。所布导线宽度为350μm,布线速率为2~20mm/s,所用的激光功率为0~20W,光斑直径约为100μm。系统研究了激光直写导电层的组织结构特征、导线与基板的结合强度以及导线导电率的变化特征。结果表明,激光微细熔覆直写布线层与基材结合牢固,所布导线的电阻率与导电银颗粒的体积分数及激光功率的大小有关,工艺参数与材料配比合适时,导线电阻率可以达到10^-6Ωcm的数量级,能够满足工业应用的要求。最后,对普通环氧树脂板下激光微细熔覆金属导电浆料直写导线时导线的形成机理和导电机理进行了分析。 相似文献
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手性有机半导体由于具有光谱可调和易于加工的优点,在小型化和集成化的圆偏振光检测中具有广泛的应用前景。本文通过控制手性异腈(PPI)的加入合成了聚(3-己基噻吩-嵌段-聚(苯基异氰))(P3HT80和P3HT80-PPI(L)30)。实验结果证明了两种半导体聚合物被成功合成。测试了两种半导体聚合物的光学特性,发现嵌段聚合物P3HT80-PPI(L)30具有手性光学活性。制备了基于有机场效应晶体管的圆偏振光探测器,研究器件对于450 nm的圆偏振光旋向的区分性能。实验结果表明,手性异腈(PPI)的加入虽然降低了P3HT80的电学性能,但引入了手性光学活性,使基于P3HT80-PPI(L)30制备的器件能够区分圆偏振光的旋向,并且在450 nm的光电流不对称因子gres达到了0.083。 相似文献
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导电聚合物BAYTRON~R及其在固体电解电容器上的应用 总被引:4,自引:2,他引:4
介绍新一代导电聚合物——聚乙烯二氧噻吩 (3,4- Polyethylene dioxythiophene,简称 PEDT)的主要特点 ,分析了其对固体电解电容器等效串联电阻、高频特性等性能的影响。PEDT将是今后开发新一代高频固体电解电容器的重点研究领域 相似文献
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基于BCM的有源功率因数校正电路的实现 总被引:1,自引:0,他引:1
分析整流电路的拓扑结构和工作模式,探讨该整流因数校正Boost开关变换器的设计方法.仿真结果表明,所设计的以MC33262为核心的临界导电模式有源功率因数校正(APFC)电路能在90~270 V的宽电压输入范围内输出稳定的400 V直流电压,并使得功率因数达0.99,系统性能优越,达到设计要求. 相似文献
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日本全面启动印制电子技术的发展来自日本经济贸易和产业省(METI)信息,日本成立了"日本先进印制电子技术研究协会(JAPERA)",全面启动印制电子技术的发展。JAPERA旨在新一代印制电子材料和工艺的基础技术开发,具体课题是推进更环保、节能和低成本的大面积电子电路制造,并寻求生产技术和设备标准化,使印制电 相似文献
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