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21.
采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
22.
23.
傅恩生 《激光与光电子学进展》2006,43(2):73-74
已经证实,由有机化合物组成的激光活性固体材料,在整个可见光谱区具有产生激光的能力。它们的潜力来自内在的优点,如有机化合物的调谐范围宽,有多种化合物可用,易于做工程实际装置。缺点包括实现直接电激励困难,以及缺少在紫外区发射的化合物。 相似文献
24.
日前,扬子石化公司生产的双轴拉伸聚丙烯薄膜(BOPP)专用料在无锡一家大型薄膜制造厂进行了拉膜试验,产品经过检验,各项指标均优于国家规定的标准,达到国内领先水平,受到用户的青睐。 相似文献
25.
26.
复合土工膜可广泛应用于水工建筑物的防渗工程中。结合某老坝防渗处理工程,详细介绍了复合土工膜作为防渗构件的设计和施工技术。 相似文献
27.
日前,山东省万达集团开发建设的新型高性能聚酰亚胺薄膜材料高新技术产业化示范项目通过国家级验收。该项目是万达集团投资近1亿元与中科院长春应化所联合研发的,目前年产能已达200多吨。 相似文献
28.
29.
使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
30.