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51.
本文综术了集成电路工艺的Cu布线中Cu薄膜化学气相沉积(CVD)的研究背景,详细介绍了CVD生长Cu金属薄膜的国内外研究进展及CVD对前趋物的要求,并对前趋物的一些物理、化学性质进行了总结,最后,对薄膜沉积的计算机摸拟作了简要介绍。  相似文献   
52.
本文从应用出发,选择光学石英为衬底,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1—x薄膜,对样品进行了X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外—可见等测试。XRD、SEM结果显示薄膜多晶态,表面形貌随时间变化,最终为胞状;紫外—可见光光谱结果显示BPxN1—x薄膜的紫外吸收边随沉积时间的加长、PH3流量的增加而向长波长方向移动。因此,该材料的光学能隙可以通过生长工艺适当调整。另外,BPxN1—x薄膜与液晶层能较好匹配等特性更使其适用于紫外空间光调制器。  相似文献   
53.
松香胺聚氧乙烯酸对A3钢在盐酸介质中缓蚀性能的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用失重法及电化学方法测定松香胺聚氧乙烯醚化合物(以下简称RA)在盐酸溶液中对A3钢的缓蚀性能,研究了温度、浓度等因素对RA缓蚀性能的影响。实验结果表明,RA分子中的环氧乙烷基的含量不同,缓蚀性能也不一样,其大小顺序为10RA>15RA>5RA,并发现RA与乌洛托品、甲醛、丙炔醇、碘化钾等有很好的协同作用。文中还计算了RA的反应表观活化能,对其缓蚀机理进行了探讨。  相似文献   
54.
有机酸乙醇胺盐系列缓蚀剂的研究与应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
徐越  陈旭俊 《材料保护》1994,27(10):20-23
有机酸乙醇胺盐广泛用于金属加工液、冷却水系统、涂料和食品工业中,作为金属部件的腐蚀抑剂,以及金属运输和贮存期间的防锈剂。它们和其他物质复配可以有效地保护钢铁和其他金属与合金。本文胺有机酸根分类,系统总结了多种有机酸乙醇胺盐缓蚀剂的应用和作用机理。  相似文献   
55.
56.
57.
徐成孝 《钻采工艺》1994,17(2):65-68
油气田管材腐蚀危害生产,各产油国均非常重视。文中介绍了日本、美国和加拿大利用新型钢材抗腐蚀、采用化学缓蚀剂延缓腐蚀、以及采用特殊涂料工艺来降低和减少腐蚀的情况。  相似文献   
58.
59.
60.
茂金属催化剂气相法聚乙烯中试研究   总被引:2,自引:1,他引:1  
我国自行开发的茂金属催化剂在气相法聚乙烯中试装置上进行了运行试验和性能试验。考察了茂金属催化剂APE-1的运行稳定性和适应性以及聚合反应条件与催化剂活性、产品熔融流动性能和产品密度的关联性。经过测定,试验所得产品的相对分子质量分布特性与国外同类产品相近。  相似文献   
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