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本文综术了集成电路工艺的Cu布线中Cu薄膜化学气相沉积(CVD)的研究背景,详细介绍了CVD生长Cu金属薄膜的国内外研究进展及CVD对前趋物的要求,并对前趋物的一些物理、化学性质进行了总结,最后,对薄膜沉积的计算机摸拟作了简要介绍。 相似文献
52.
本文从应用出发,选择光学石英为衬底,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1—x薄膜,对样品进行了X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外—可见等测试。XRD、SEM结果显示薄膜多晶态,表面形貌随时间变化,最终为胞状;紫外—可见光光谱结果显示BPxN1—x薄膜的紫外吸收边随沉积时间的加长、PH3流量的增加而向长波长方向移动。因此,该材料的光学能隙可以通过生长工艺适当调整。另外,BPxN1—x薄膜与液晶层能较好匹配等特性更使其适用于紫外空间光调制器。 相似文献
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松香胺聚氧乙烯酸对A3钢在盐酸介质中缓蚀性能的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
采用失重法及电化学方法测定松香胺聚氧乙烯醚化合物(以下简称RA)在盐酸溶液中对A3钢的缓蚀性能,研究了温度、浓度等因素对RA缓蚀性能的影响。实验结果表明,RA分子中的环氧乙烷基的含量不同,缓蚀性能也不一样,其大小顺序为10RA>15RA>5RA,并发现RA与乌洛托品、甲醛、丙炔醇、碘化钾等有很好的协同作用。文中还计算了RA的反应表观活化能,对其缓蚀机理进行了探讨。 相似文献
54.
有机酸乙醇胺盐系列缓蚀剂的研究与应用 总被引:1,自引:0,他引:1
有机酸乙醇胺盐广泛用于金属加工液、冷却水系统、涂料和食品工业中,作为金属部件的腐蚀抑剂,以及金属运输和贮存期间的防锈剂。它们和其他物质复配可以有效地保护钢铁和其他金属与合金。本文胺有机酸根分类,系统总结了多种有机酸乙醇胺盐缓蚀剂的应用和作用机理。 相似文献
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油气田管材腐蚀危害生产,各产油国均非常重视。文中介绍了日本、美国和加拿大利用新型钢材抗腐蚀、采用化学缓蚀剂延缓腐蚀、以及采用特殊涂料工艺来降低和减少腐蚀的情况。 相似文献
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