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《传感器与微系统》2019,(12):5-9
研究了使用两种大气压等离子体射流(APPJ)刻蚀Parylene-C薄膜所产生刻蚀区域的形貌和成分之间的差异。两种APPJ分别由单环电极装置和双环电极装置产生。由单环电极APPJ刻蚀的Parylene-C表面是非均匀的,从刻蚀区域的中心到边缘可分为三部分:区域(I)是中心区域,此处Si衬底严重受损;区域(II)是有效的刻蚀区域;区域(III)是刻蚀边界。与单环电极APPJ相比,双环电极APPJ刻蚀的Parylene的形貌要好得多。特别是在区域(I)中,Si片受到轻微损坏。X射线光电子能谱分析(XPS)结果表明:单环电极APPJ刻蚀区域的O元素原子含量多于双环电极。此外,还研究了两种APPJ的刻蚀速率,相比于双环电极APPJ,单环电极APPJ具有较高的刻蚀速率。 相似文献
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采用脉冲激光对Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5非晶合金板进行激光多次熔凝,研究了激光多次熔凝时热影响区的晶化相形态随着熔凝次数增加时的演化规律。结果表明,随着熔凝次数的增加,晶粒数量逐渐增加,晶粒尺寸逐渐变大。随着晶粒的长大,卷入熔池内的晶粒造成的晶化也越来越显著。激光多次熔凝非晶合金时,热影响区内的晶粒尺寸和数量都随熔凝次数的增加而线性增加,不同非晶合金板的形核率和生长速率基本接近,但初始晶粒数量和初始晶粒尺寸不同,这和铜模铸造制备非晶合金板时的具体冷却过程差异有关。 相似文献
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从采用现代先进设计理念及先进加工方法入手,从设计技巧、加工工艺方法、材料利用率、综合成本等角度论述板材替代型材的优点及推广价值,为轻工业设备制造企业降本增效、设计优化、工艺革新和产品升级开阔思路。 相似文献
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CO2激光治疗皮肤基底细胞癌14例临床观察 总被引:4,自引:0,他引:4
目的 :探求一种简单 ,安全 ,效果好的基底细胞癌的治疗方法。方法 :对 1 4例基底细胞癌患者在局麻下用CO2 激光行基底细胞癌切除术或切除 +气化术。结果 :患者术中、术后出血少 ,伤口恢复快 ,愈合良好 ,疤痕表浅 ,随访未见复发。结论 :CO2 激光用于治疗基底细胞癌效果良好 ,无明显副作用 ,操作简单值得推广。 相似文献
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