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基于AlxNy绝缘介质膜的新型窗口大功率半导体激光器 总被引:1,自引:1,他引:1
提升半导体激光器的腔面抗光学灾变(COD)损伤的能力,改善半导体激光器的工作特性,一直是大功率半导体激光器器件工艺研究的难点.基于薄膜应力使基底半导体材料带隙变化的原理,采用直流磁控溅射方法在不同条件下溅射生成不同内应力的AlxNy绝缘介质膜.通过研究大功率半导体激光器腔面退化机理,借助AlxNy等应力膜设计制作了一种新型非吸收透明窗口结构的宽条形半导体激光器,使器件平均最大输出功率提高46.5%,垂直发散角达到21°,水平发散角达到6.1°,2000 h加速老化试验,其千小时退化速率小于0.091%. 相似文献
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1.5 kW激光二极管抽运Nd:YAG薄片激光器 总被引:4,自引:10,他引:4
报道了一台输出功率超过1.5 kW的激光二极管抽运Nd∶YAG双薄片激光器.设计了四通光学耦合系统,通过优化经微柱透镜准直后光束的发散角,实现了抽运光的近平顶分布.薄片激光介质镀完介质膜后镀Ti,Pt,Au实现金属化,再采用铟焊工艺焊接在铜微通道冷却器上,以提高散热效率和冷却的均匀性.采用两片直径40 mm,厚度1.3 mm的Nd∶YAG薄片激光介质,在两个二极管激光器阵列抽运下,当每个薄片上的抽运峰值功率为17.7 kW,占空比10%时,获得了平均功率1.52 kW的准连续激光输出,光-光转换效率达到43%,电-光转换效率超过20%. 相似文献
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光纤激光学专家及半导体激光模块生产厂家IPG光子,因其高功率系统的热销而一路成为激光界的黑马. 随着光纤激光器在工业加工领域中的市场份额的快速增长,高功率单管半导体激光模块的生产持续攀升.根据来自Strategies Unlimited的一份最新报告,光纤激光器正在迅速侵占拥有20亿美金的工业激光市场,并取代许多传统的高功率激光系统,从而导致大量的激光模块的需求. 相似文献