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1 试剂所用全部试剂都是试剂纯的.水是重蒸馏水.用纯度为99.99%的Cu和Ni配制标准贮备液,酸度调至0.1M盐酸.用FeC1_3.6H_2O配制Fe(Ⅲ)溶液(Fe0.4mg/m1).所用全部溶剂均未进一步提纯.2 样品制备 相似文献
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本文概述了离子注入过程中污染产生的原因和防止污染的措施，特别强调了对微粒污染和金属污染的防护以满足ＵＬＳＩ加工对离子注入的要求。 相似文献
95.
田敬民 《固体电子学研究与进展》1996,16(3):284-288
采用静电喷雾高温分解工艺制备ＳｎＯ２气敏膜，并与Ｓｉ３Ｎ４－ＳｉＯ２集成多层介质膜，用催化金属Ｐｔ作栅电极，制成新型的ＭＳＩＳ结构气敏电容。通过检测平带电压的变化，研究对Ｈ２和Ｏ２的气敏特性，分析其气敏机理并提出了检测的物理模型． 相似文献
96.
利用行星齿轮传动原理，求出了适用于型面联接的旋轮线方程，并对这种型面轴和孔的加工装置的设计进行了探讨。 相似文献
97.
98.
介绍了株洲冶炼为锌十万吨改造工程而配套设置的５＃挥发窑等系统的设计改进概况，这次改造在工艺流程，设备选择方面均比老系统有很大改进，是一项较成功的改造工程。 相似文献
99.
本文以系统节能和提高综合经济效益的观点，分析了金属换热器传热系数的影响因素及提高途径；气流阻力与动力消耗；传热面积与投资的定量关系。为正确选用不同结构金属换热器及其性能提供了依据。 相似文献
100.
介绍了ＧａＡｓ ＭＭＩＣ高台面刻蚀制备工艺方法，解决了高低台面联线问题，提高了单片集成电路性能，保证了可靠性。 相似文献