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微电子机械系统技术与蓬勃发展的光纤通信 总被引:1,自引:0,他引:1
硅微机械技术是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微/纳电子机械系统来解决技术上的问题。概括地说,是用标准的集成电路技术实现的。用硅晶片作基底沉积多层膜系,如氮化物、多晶硅、氧化物和各种金属膜系,用制造集成电路的方法可以制造复杂的三维结构。然而,这种结构并不是集成电路,还要通过蚀刻去氧化物释放器件以生产出能运动的结构。在制作工艺上做细微的改变就能生产可运动的器件,诸如旋转齿轮、铰链、平台和柔性梁以及各种类型的电机。在光纤通信应用方面,微电子机械系统(MEMS)技术可制作各种组件,如数据调制器,可变襄减器、光开关、主动均衡器、插/分复用器、光学连接器、色散补偿器、全光开关、可调谐激光光源,有源元件和自适应光学元件。本文描述了用现有的标准制造设备制作出的光通信用的各种微电子机械光学元件。 相似文献
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Peter Singer 《集成电路应用》2007,(3):38-38
Robert J.Mears是用于宽带互联网的铒掺杂光纤放大器(EDFA)的发明者。他在寻找将光器件和波导结合到硅中的方法时,发现了一个有趣的结果:一种特殊的硅超晶格结构可以加速某一个 相似文献
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《高分子材料科学与工程》2007,23(2):106-106
本发明涉及有机和无机硅化合物复合改性水性聚氨酯乳液的制备方法,该制备方法是采用高分子化学合成反应中或水乳化扩链过程中将有机硅化合物引入到聚氨酯中,再在乳液中加入一定量的无机硅化合物进一步扩链交联反应。本发明的方法不仅操作方便,且制备的水性聚氨酯乳液,其涂膜具有耐水性好、光泽、软硬度与应用性能要求适宜等优点, 相似文献
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日前,在天津市科委举办的2005年科技型中小企业创新基金项目申报中,天津市立鑫晟精细铸造有限公司“工程机械用高耐磨与高强韧性铬铸铁材料”研制项目获得通过,成功取得市科委无偿资助,并由天津市科委进一步申报国家科技型中小企业创业基金项目的无偿资助。 相似文献
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介绍了重介质旋流器OI氧化铝陶瓷衬里的耐冲蚀磨损性能及其硬度、密度和抗弯强度等物理性能,并与原采用的旋流器耐磨衬里进行了比较。指出,通过研发新型旋流器衬里,改进衬里加工工艺和旋流器结构等技术手段,可提高大型重介质旋流器的使用寿命,改善旋流器的分选效率,获得显著的经济和社会效益。 相似文献