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己开发出一种利用光学移相、傅里叶交换和空间滤波技术,使基片上的对称图形与中间掩模上的移相图形套准的新型精密对准技术。这两个标记之间的对准是用检测基片对准标记反射光的零阶空间频率先强的最小值点来确定的。此最小值是因两对准标记共心时相位将完全抵消而形成的。所进行的理论分析知计算机模拟证明,这种技术不受对准标记图形线宽和台阶高度变化的影响,也不因制有对准标记的基片材料的光学特征变化而变化。初步实验结果与计算值相当一致。从而证明,这种技术不存在利用栅光图形和检测干涉条纹图像这些技术中所存在的模糊问题。现有结果表明,这种技术的套刻精度可优于0.1μm。  相似文献   
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阐述了以信息化带动我国机械业发展的必然性及先进制造技术在农机制造业的应用.  相似文献   
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李同盟 《模具工业》1994,(10):27-28
油罐支架成形工艺及模具蔡家坡陕西汽车制造总厂李同盟1零件分析在编制STEYR汽车零件油罐支架(图1)工艺过程中,经过初步分析,认为此零件中间凸起部分较高,而且由于形状的不对称,导致其变形不均匀。其中两个尖点B、C变形最大,由于零件外缘相对较大,在压制...  相似文献   
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第二十六讲 FIDIC合同文本介绍   总被引:1,自引:0,他引:1  
《中国工程咨询》2002,(4):58-60
  相似文献   
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任家生  赵宁 《电子器件》1992,15(1):20-24
WC-0.5型微型真空泵是基于变容原理工作的往复式真空泵.本文介绍了该泵的工作原理和抽气特性.文中还给出了测试结果.  相似文献   
69.
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