Thin-film reactions during diffusion soldering of Cu/Ti/Si and Au/Cu/Al<Subscript>2</Subscript>O<Subscript>3</Subscript> with Sn interlayers

The multilayer thin-film systems of Cu/Ti/Si and Au/Cu/Al₂O₃ were diffusion-soldered at temperatures between 250°C and 400°C by inserting a Sn thin-film interlayer. Experimental results showed that a double layer of intermetallic compounds (IMCs) η-(Cu_0.99Au_0.01)₆Sn₅/δ-(Au_0.87Cu_0.13)Sn was formed at the interface. Kinetics analyses revealed that the growth of intermetallics was diffusion-controlled. The activation energies as calculated from Arrhenius plots of the growth rate constants for (Cu_0.99Au_0.01)₆Sn₅ and (Au_0.87Cu_0.13)Sn are 16.9 kJ/mol and 53.7 kJ/mol, respectively. Finally, a satisfactory tensile strength of 132 kg/cm² could be attained under the bonding condition of 300°C for 20 min.     

激光干涉仪线性测长的准直调节方法

概述了激光干涉仪在半导体工艺设备精度分析领域的应用,简单介绍了光路准直对线性测长的影响。依据激光干涉仪的准直测量原理,详细介绍了激光干涉仪准直的调节方法。     

超薄圆片划片工艺探讨

集成电路小型化正在推动圆片向更薄的方向发展,超薄圆片的划片技术作为集成电路封装小型化的关键基础工艺技术,显得越来越重要,它直接影响产品质量和寿命。本文从超薄片划片时常见的崩裂问题出发,分析了崩裂原因,简单介绍了目前超薄圆片切割普遍采用的STEP切割工艺。另外,针对崩裂原因,还从组成划片刀的3个要素入手分析了减少崩裂的选刀方法。     

热超声倒装键合过程中的非线性动力学行为

在作为微器件电气互连主要手段的热超声键合工艺中,微细键合区域内金属变形/变性/互连所需的能量,来自于超声波功率源通过换能系统所施加的微幅压剪动载.对热超声倒装键合过程的研究说明,PZT换能系统在热超声倒装键合工艺过程中的非线性动力学行为,如换能系统启动后的初值敏感性和不确定性,键合工具与换能杆之间的不稳定动力耦合,倒装芯片运动的奇异相轨线等,是深入研究键合机理以及提高工艺可靠性的重要关键.     

基于共晶的MEMS芯片键合技术及其应用

叙述了MEMS封装中共晶键合的基本原理和方法,分析了Au-Si、Au-Sn、In-Sn等共晶键合技术的具体工艺和发展,并对其应用作了介绍.     

薄板模具钢脉冲Nd:YAG激光熔凝区显微硬度特征的影响因素

本文在厚度为 0 .5— 2 .0mm的 5Cr4Mo3SiMnVAl(0 12Al)模具钢和Cr12MoV模具钢薄板上 ,采用脉冲Nd :YAG激光进行了激光熔凝实验 ,研究了工艺参数 (脉冲宽度和脉冲频率 )、材质和材料厚度对激光熔凝后熔凝层显微硬度特征的影响。结果表明 :随着脉冲宽度的增加或脉冲频率的减少 ,激光熔凝区的显微硬度有减少的趋势 ;Cr12MoV模具钢的激光熔凝区的显微硬度比 0 12Al模具钢的低 ;随着材料厚度的增加 ,激光熔凝区的显微硬度表现为先增加后减少的趋势。激光熔凝工艺参数、材料的热扩散情况和材料的热物性参数的不同是造成上述现象的主要原因。     

精密基准源LM199的恒温电路机辅分析

基于精密基准电压源LM199的解剖,对其恒温电路作了全面的计算机辅助分析。对器件灵敏度、容差范围进行了分析,并进行了电路优化、器件模型参数优选,提出了关键设计参数、电路工艺难点及可实现性。     

军舰目标要害部位的自动瞄准和定位

发展红外成象导引技术对于提高命中精度和作战有效性具有重要的意义。本文研究了采用红外成象传感器对军舰目标要害部位的自动瞄准和定位问题，提出并用软件实现了一套实时处理方案。选定目标吃水线下方为瞄准点，采用形心跟踪和帧帧相关匹配的多模方式，分别用于处理目标溢出视场前和溢出视场后的情况，能在目标处于各种姿态下可靠地选择瞄准点并保证定位精度，对６８帧红外目标图象的仿真实验取得了令人满意的结果。     

CAD/CAM在水轮机叶片热模压成型工艺中的应用

介绍采用UG CAD/CAM及其强大的二次开发平台,解决混流式水轮机叶片热模压成型工艺中急需解决的叶片展开、压模设计及数控加工等关键技术问题。研究开发了叶片曲面的三维几何造型、密化计算处理、建立束展开的数学模型、及其带工程约束的几何近似展开方法及算法。并基于UG CAD/CAM用GRIP语言开发了解决这类技术问题相应的软件。该软件已实际用于叶片的制造,证明方法和软件都是可行的,具有良好的技术和经济性。     

基于GDOP的分布式雷达网航迹关联阈值选择新方法

分布式雷达组网的航迹关联不仅与网内各雷达的性能有关,而且与目标的相对位置有关。本文提出一种新的雷达组网航迹关联方法,该方法在综合网内各雷达性能的基础上,将组网雷达定位精度几何稀释模型引入航迹关联算法当中。根据各雷达对观测同一目标定位精度的差异为参考,给出一种新的航迹关联门限阈值选择算法。本文介绍了航迹关联阈值的计算过程,并利用该方法对真实航迹数据进行了仿真。