批处理离子注入机台锥角效应及注入角度对产品的影响

研究主要聚焦在批处理离子注入机台的沟道效应和锥角效应,以及阐述由于这些效应导致的晶圆片上的均匀性问题和产品上的良率损失。对于高能量离子注入,如果离子注入角度设定为0°会导致严重的沟道效应,但是大角度设定又会导致光刻胶的阴影效应,所以对于注入角度的选取需要尽量小。对于越来越先进的半导体工艺技术,线宽越来越小,合适角度设定将显得尤其关键。运用二次离子质谱分析研究了控片上离子注入的分布,通过产品电性合格测试全片多点验证,表明了沟道效应和锥角效应的综合影响;得出了对于不同锥角机台合适的离子注入角度设定。     

偏心单牙轮钻头运动学研究

为了了解偏心单牙轮钻头的破岩机理和钻井特性,详细研究了偏心单牙轮钻头几何学和运动学,建立了钻头齿面几何学方程和牙齿速度、加速度方程,将绝对运动看作是牵连移动、牵连转动与相对移动的复合,并编制了计算软件,分析了钻头牙齿在井底的运动规律。结果认为,在偏心单牙轮钻头工作过程中,牙齿与井底是间断接触的,偏移距越大,牙齿与岩石接触时间越短,牙齿重复破岩越少,反之牙齿重复破岩越多;牙齿在运动过程中会改变运动方向,偏移距越大,牙齿的径向速度越小,切向速度越大,反之径向速度越大,切向速度越小。     

动网格技术在超音速流场数值模拟当中的应用

超音速流场的直接数值模拟对航空航天事业的发展有着非常重要而深远的意义。论文针对钝锥这一典型研究对象,先介绍了超音速流数值模拟的经典计算方法,同时基于动网格技术,提出了一种改进的计算方法,并通过数值实验证明了该方法的可靠性和高效性。     

一种岩石滑动范围快速估测程序

岩石下滑是一种常见的地形学现象,会给人们造成危险和经济上的损失。由于不可能精确预测每块岩石下滑的精确轨迹,因此估测岩石下滑可能造成的危险也是比较困难的。文章对已有的一些岩石滑动模型进行了比较分析,以一种圆锥模型为基础,开发了这个程序用以快速估测岩石可能的滑动范围,辅助相关部门分析,从而在适当的位置采取措施预防灾害。     

基于Hermite插值的制导炮弹姿态旋转矢量优化方法

在制导炮弹姿态解算过程中,角增量提取精度对姿态解算精度的影响显著,为此提出一种Hermite 插值二子样角增量提取算法。进一步优化Hermite插值公式的系数,得出优化Hermite插值二子样角增量提取算法。在锥动环境下,将该算法与Lagrange插值三子样角增量提取算法进行仿真和试验对比。结果表明：采用所提出的Hermite插值二子样角增量提取算法的姿态解算精度优于Lagrange插值,且优化Hermite插值更适用于制导炮弹姿态解算的实际情况;该算法不仅适用于制导炮弹高动态环境,而且在同样精度条件下,可降低姿态更新采样频率,降低了对导航计算机的要求。     

扬声器纸质振膜材料的动态力学性能研究

利用动态力学分析仪研究了纸质振膜材料的动态力学性能,以及打浆、纸浆种类和化学助剂对纸质振膜材料的密度、弹性模量和损耗因子的影响。结果表明,无论漂白硫酸盐针叶木浆、漂白棉浆,还是未漂麻浆,随着打浆度的提高,纸页的密度、弹性模量和比弹性率均提高,而损耗因子下降,添加施胶剂和湿强剂均影响纸质振膜材料的性能。     

基于能量原理的静动力排水固结法有效加固深度研究

对静动力排水固结法加固软土地基,目前主要通过研究冲击作用下超软土的孔压、土压以及沉降、强度的变化,以探求其响应规律及加固机理,对于软土地基的有效加固深度,目前仍没有一个非常精确的公式。基于动量守恒和能量守恒原理,将夯锤与土体接触后运动简化为匀减速直线运动,并结合广州南沙现场的物理力学参数,得到一个能够较准确地计算有效加固深度的公式。通过与现场原位监测数据对比,表明该公式是可行的。为类似软土地基处理工程有效加固深度值提供一定的借鉴和指导意义。     

条形药包爆破理论与技术

介绍了条形药包爆炸应力场、条形药包爆破震动场的最新研究成果 ,由此还解释了条形药包的定向作用原理。另外 ,根据土中模型试验 ,对条形药包的爆破漏斗特性作了总结 ,讨论了条形药包长抗比对装药量计算的影响 ,并介绍了条形药包硐室爆破设计方法和爆破施工组织管理的经验     

空心喷雾油滴碰撞热多孔介质的数值研究

为加深对多孔介质发动机中均匀混合气形成的了解,用改进的KIVA-3V详细模拟了空心喷雾油滴碰撞热多孔介质的过程。在KIVA-3V中增加了油滴碰撞热多孔介质壁面的碰撞模型、传热模型及空心喷雾的线性不稳定性液膜破碎(LISA)模型。油滴与热壁的碰撞模型和传热模型经检验证明了其合理性。在简化多孔介质结构的基础上,在不同的环境压力及喷雾锥角下,模拟了空心喷雾与热多孔介质的相互作用。计算结果表明:油雾在碰撞到热多孔介质后,发生分裂的油束和多孔介质区域的高温,促使油滴实现快速蒸发并为油蒸汽与空气充分混合创造了前提。不同的空间压力及喷雾锥角直接影响到油滴在多孔介质中的分布。     

考虑低碳和柔性负荷的有源配电网混合整数二阶锥规划

在配电网低碳化背景下,提出了考虑碳排放和柔性负荷的有源配电网混合整数二阶锥规划模型,目标是在满足网络运行约束和CO₂排放上限的前提下,给出总成本最小的投资策略。考虑新能源、负荷和能源价格的不确定性,提出了基于k均值的场景聚类方法。模型的决策变量为更换过载线路、投建新能源和储能装置,以及投建稳压器和电容器组等电压控制设备,并考虑了多项式形式的电压相关型的柔性负荷、网络重构以及碳排放额约束。针对规划模型的非凸非线性特征,采用虚拟需求法将网络重构建模为混合整数线性规划形式,并提出了一种基于泰勒展开的改进二阶锥松弛方法,以解决柔性负荷模型给传统二阶锥松弛带来的难题。通过69节点系统对该模型进行测试,结果表明,所提模型不仅总规划成本较低,而且有助于减少碳排放。