化学气相沉积铜薄膜研究进展

本文综术了集成电路工艺的Cu布线中Cu薄膜化学气相沉积(CVD)的研究背景,详细介绍了CVD生长Cu金属薄膜的国内外研究进展及CVD对前趋物的要求,并对前趋物的一些物理、化学性质进行了总结,最后,对薄膜沉积的计算机摸拟作了简要介绍。     

资讯——Packaging资讯专辑

中国液体产品包装领域多款新品发布，PETsleeve：施利福的新型环保收缩薄膜，博世力土乐包装自动化解决方案首登中国     

未来5年铟原料供应不会出现短缺

近年来，由于FPD（平板显示器）市场增长迅速，曾担心透明导电薄膜用rrO（氧化铟锡）靶材原料——铟供应不足。但由于新的铟生产商的加入及回收利用率的提高，使铟的供应大量增加。此外，还正在开发ITO的替代材料。因此，业内人士预测未来5年铟原料供应不会短缺。     

薄膜晶体Si太阳电池的潜力

如果效率和成本这两个“目标”能够达到，薄膜晶体Si太阳电池有可能替代目前在光伏市场上占主导的多晶Si太阳电池。[第一段]     

首条全自动化的非晶硅生产线扎根国内无锡

香港华基光电能源集团投入巨资成功制造出新一代非晶硅薄膜“华基玻璃电砖”生产设备。该公司与无锡源畅和美国CMI公司签订合作协议，第一条全自动化的非晶硅生产线在无锡诞生。     

我科学家在纳米信息存储材料领域再获突破

我国科研人员在Rotaxane类分子的结构与电导转变及其在超高密度信息存储中的应用研究方面再获突破。在此前工作的基础上成功地在H2 Rotaxane分子薄膜中实现了可逆的电导变化和可擦除、稳定、重复的近于单分子尺度的纳米级存储。这是目前为止该类分子结构与电导转变的最直接证据，对Rotaxane类分子在分子电子学中的进一步应用具有重要意义。     

环保的薄膜卡片包装

这种新型的环保薄膜卡片包装主要是运用了一种特殊的厚度在3至5mils（千分之一寸）的PLA薄膜。这种高透明度的薄膜不仅环保，而且与PVC或DuPont Surlyn薄膜具有相同的牢靠的抗阻性能，是二者良好的替代品。而印刷用的。纸板可以是SBS，也可以是回收材料。     

掺Nd纳米ZnO薄膜特性研究

研究了用真空蒸发法在玻璃衬底上制备稀土掺杂纳米ZnO薄膜结构、导电性及光透射性能。结果显示 ,在 5 0 0℃氧化、热处理稀土元素Nd掺杂后能够明显改善纳米ZnO薄膜的结构特性 ,薄膜的晶粒尺寸随掺杂含量的增加而减小。掺Nd使ZnO薄膜的电性能有所改善但使纳米ZnO薄膜的光透射性有所降低。     

BPxN1-x薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响

本文从应用出发，选择光学石英为衬底，采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1—x薄膜，对样品进行了X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外—可见等测试。XRD、SEM结果显示薄膜多晶态，表面形貌随时间变化，最终为胞状；紫外—可见光光谱结果显示BPxN1—x薄膜的紫外吸收边随沉积时间的加长、PH3流量的增加而向长波长方向移动。因此，该材料的光学能隙可以通过生长工艺适当调整。另外，BPxN1—x薄膜与液晶层能较好匹配等特性更使其适用于紫外空间光调制器。