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在加工应用试验的基础上。探讨了加工温度、吹胀比、超想线高度及设备对4F0.06AC薄膜适宜的加工条件。 相似文献
82.
本文研究了用金属有机物热发解法制备PLT8薄膜的工艺过程和基片对薄膜结构的影响,并且给出了铁电性能的测量结果。 相似文献
83.
采用自行研制的LB自动提膜装置,制备出大面积(10×8cm2)、高质量的PMMA超薄抗蚀剂膜,并将其用于高分辨率铬掩模版的研制。通过电子束曝光,湿法蚀刻,制作了分辨率优于0.5μm,特征线宽0.38μm的4(100mm)铬掩模版。 相似文献
84.
利用变温和变磁场霍尔测试对在空气室温环境长期存放的碲镉汞液相处延晶膜作了定期的检测,结果表明,晶膜的电学性质随时间有明显的改变,本文采用非均匀晶膜的层状模型对晶膜的不稳定性作了详细的分析。 相似文献
85.
An electrically conductive plastic material was obtained by the polymerization of pyrrole on insulating polymeric materials
and nylon cloth impregnated with the oxidant by vapour phase technique, resulting in a uniform, smooth and adherent coating
of conducting polymer having a surface resistance ranging from 200 Ω/□ to 20 kΩ/□, which makes it suitable for applications
as an antistatic material. 相似文献
86.
金属迁移能导致混合微电路发生灾难性失效。本文介绍一种简单易行的测试方法-水滴试验法,来测量厚膜电路的实际金属迁移率。用引方法测量时,发现Pd-Ag导体的迁移率最大,Pt-Au导体的金属迁移率最小。 相似文献
87.
88.
89.
90.
Journal of Electronic Materials - Low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) of tungsten (W) by SiH4 reduction of WF6 on Si(100) surfaces was studied in a single-wafer, cold-wall reactor over a... 相似文献