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11.
采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
12.
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14.
采用类比法确定现役水工钢闸门结构的荷载评估基准期。以静水压力为例,得了其在荷载评估基准期内的统计参数,讨论了闸门主梁受弯碱坏时可靠指标随继续使用期的变化。 相似文献
15.
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18.
新型高k栅介质材料研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
随着半导体技术的不断发展,MOSFET(metal-oxide-semiconductor field effect transistor)的特征尺寸不断缩小,栅介质等效氧化物厚度已小至nm数量级。这时电子的直接隧穿效应将非常显著,将严重影响器件的稳定性和可靠性。因此需要寻找新型高k介质材料,能够在保持和增大栅极电容的同时,使介质层仍保持足够的物理厚度来限制隧穿效应的影响。本文综述了研究高k栅介质材料的意义;MOS栅介质的要求;主要新型高k栅介质材料的最新研究动态;展望了高k介质材料今后发展的主要趋势和需要解决的问题。 相似文献
19.
介绍了古洞口工程泄洪洞工作弧门在特定地形下采用固定卷扬式启闭机和汽车吊配合闸室的预埋件进行闸门安装的施工工艺。对闸门的吊装、调整及焊接工艺的具体措施作了详细分析,解决了该工作弧门在洞内安装的关键施工技术问题。 相似文献
20.
高晓梅 《水利水电工程设计》2002,21(4):1-4
永定新河是天津市防洪的北部防线。由于受海相来沙淤积 ,河道行洪能力大幅度下降。针对永定新河治理工程设计中涉及到的河道淤积治理方案、闸位比选、防潮闸结构型式及施工方法、闸下减淤清淤措施等诸多问题进行了分析和研究 ,提出了相应的措施和建议 相似文献