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Jeong Doo Lee Qi Min Wang Soo-Hyun Kim Tie-Gang Wang Dong-Woo Shin Kwang Ho Kim 《Surface & coatings technology》2012
Quaternary Cr–Si–O–N films were deposited by a hybrid coating system using a Cr cathodic arc target and a Si sputtering target in an Ar/N2/O2 gaseous mixture. The influence of oxygen flux rate on the microstructure and properties of the Cr–Si–O–N films were investigated. The results indicated that the oxygen-free Cr–Si–N film exhibited nanocolumnar microstructure containing CrN nano columns and amorphous Si3N4 phase. The Cr–Si–O–N films exhibit equiaxed CrN nanocrystallites likely surrounded by amorphous SiO2 and Si3N4 phases. Further increasing the oxygen content gives films containing Cr2O3 crystallites. The hardness first increases from 30 GPa for the Cr–Si–N film to a maximum value of approximately 50 GPa for the oxygen content of 16 at.% and then decreases for larger oxygen content. All the Cr–Si–O–N films exhibit low friction coefficient (0.22–0.26) and low residual stress (− 0.03–0.08 GPa). The influence of the oxygen content on the microstructure and mechanical properties of the Cr–Si–O–N films is discussed. 相似文献
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薄膜非均匀性的无损检测对于制备大面积高质量的红外透明薄膜尤为重要。针对红外薄膜光学均匀性难以获取的困难,提出了一种同时获得单层透明红外薄膜厚度和折射率均匀性的无损检测方法。实验上,通过磁控溅射法在二氧化硅衬底上制备了厚度约1.4μm红外透明Ge-Sb-Se硫系薄膜,然后在该薄膜上标定出36个80μm×80μm区域,利用显微傅里叶红外光谱仪测得该36个区域的透射谱,通过分段滤波的方法滤除背景噪声,运用改进的Swanepoel方法计算得到了薄膜每一个区域的厚度和折射率,进而精确获得该薄膜的厚度和折射率均匀性,结果表明精度优于0.5%。 相似文献
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74.
随着城市建设的不断发展,越来越多的地下车库建设缓解了日益紧张的城市建设用地,但是在消防方面传统的自动喷水灭火系统已经无法满足地下车库的需求,因此本篇论文介绍了一种抗溶性水成膜泡沫喷淋系统的设计,以满足当前地下大型车库库和发电机房消防方面的需求。 相似文献
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76.
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采用微波等离子体化学气相沉积的方法,以H2和八甲基环四硅氧烷(D4)为原料,在H2(Ⅱ):H2(Ⅰ,为带动D4的载气)的流量比23:l,P=5332.88Pa,Ts=850℃左右的工艺条件下,制备了含有金刚石及一定量SiO2和SiC的复相薄膜。初步的实验结果表明,金刚石相可在该复相薄膜上继续生长,进而形成高质量的金刚石薄膜。同时,与在Al2O3衬底上直接沉积的金刚石涂层相比,采用上述复相薄膜作为过渡层可明显地提高金刚石涂层对于Al2O3陶瓷衬底的附着力。 相似文献
78.
日本铝材复合氧化膜涂层技术的现状 总被引:1,自引:0,他引:1
日本四周环海,必须考虑海盐微粒或者混有海沙的灰泥引起铝材的腐蚀问题,因此铝窗架的防腐性非常重要。复合涂层(阳极氧化膜层上加一层有机涂层)是日本建筑铝材表面处理的最普遍的处理方式。最初,阳极氧化膜的有机涂层是使用亮漆进行喷涂处理获得的。在这以后有两种处理方式,即TFS涂层和电泳涂层。这两种涂层方法都适于大规模生产,而且涂层均匀。由于电泳涂层工艺无需有机溶剂而保护了环境,从而成了主要的工艺。电泳涂层采用的主要树脂为溶于水的丙烯酸阴离子树脂,电泳涂层表面包括光面、白色表面以及无光表面。对于无光表面,目前主要采用一种分离式树脂法。现在开发的其他方法还包括在着色的氰化膜上采用着色树脂的有机复合涂层、含氟化物树脂的电泳涂层和高耐久性涂层。 相似文献
79.
80.
利用射频磁控溅射技术,以Ar和O2气混合气体为溅射气体在载玻片上制备了锐钛相TiO2薄膜。为了提高Ti02薄膜的光催化活性,在TiO2薄膜表面进行了钽修饰。利用X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM)和UV-VIS-NIR分光光度计等技术对薄膜进行了表征。结果表明:对TiO2薄膜的表面进行适量的Ta元素修饰可以提高其光催化活性。 相似文献