圆片表面薄膜应力传感器设计

为使半导体产品达到所要求的光学、电子和机械性能,必须实时地在沉积过程中直接测量薄膜应力.介绍了一种简便的薄膜应力测量装置方案,它可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106 Pa,精度优于5%.该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制检测.     

声学全波形反演预测饱和度

饱和度是储层定量描述的重要参数之一,研究饱和度对于地下流体分布、储量估计及井位设置都至关重要。基于全波形反演提供的高精度地层弹性参数,研究了地震饱和度预测方法。通过数学分析和数值计算,讨论了流体体积模量和孔隙空间体积模量特征及其对流体的敏感性,并在此基础上,提出了利用两参数全频带声学全波形反演和Brie公式预测饱和度的方法。通过数值计算,分析了体积模量和密度反演误差及Brie公式中指数因子误差对饱和度预测的影响。通过四川广安气田实际地震数据反演和饱和度预测,进一步验证了方法的有效性。     

转盘补芯装置全熔透CO2气体保护焊工艺研究

为了解决钻机转盘补芯装置焊接难度高、生产效率低的问题,采用CO2气体保护焊方法,选择合理的焊接工艺参数,成功实现了钻机转盘补芯装置的全熔透焊接。结果表明,焊缝外观成形良好,质量可靠,经相关试验检测,各项性能完全满足标准要求。本次试验成功攻克了Q345D厚板全熔透焊接技术的瓶颈,较手工电弧焊大幅提高了生产效率,在工程生产中具有重要指导意义。     

全机械扫描强流离子注入机重复性研究

对影响全机械扫描强流离子注入机剂量重复性的因素进行了分析。对束流纹波的影响建立了数学模型，计算了束流纹波对剂量重复性的影响。结果表明只要束流纹波在9％以内，剂量重复性可控制在1％以下。     

油气吸收回收系统的研究及工业应用——(Ⅱ)工业试验及效果分析

在油气吸收回收系统中型试验的基础上，开发了常温常压吸收法工业化油气回收系统，并进行了工业应用。结果表明，该油气回收系统平均回收率可达95．13％，每年可回收汽油529t；装车期间装车口周围环境大气中总烃浓度平均降低98．06％。企业通过实施油气回收系统，节能及经济效益明显，且很好地改善了装车场所的作业环境，克服了油气排放带来的安全隐患。     

全业务运营下视频业务综合服务模型的研究

视频业务是未来支撑电信业务发展的"杀手级"业务,目前在电信领域已经陆续推出了多种视频业务平台为多种终端提供视频业务.本文以电信全业务运营为前提,剖析目前各分散的视频系统架构存在的不足,提出了视频业务综合服务模型.     

三维一阶速度-应力声波方程全波形反演

基于时间域三维一阶速度—应力声波方程,采用基于摄动理论的伴随状态法,推导出时间域三维一阶速度—应力声波方程的伴随方程及相应的纵波速度的梯度计算公式,并采用交错网格有限差分法计算正向传播波场及逆时外推的伴随波场,进而计算出纵波速度的梯度,在此基础上采用共轭梯度法更新纵波速度模型,实现了基于一阶速度—应力声波方程的三维全波形反演方法。由于基于一阶速度—应力声波方程,该方法能够方便地采用交错网格有限差分法求解。由于基于GPU在时间域实现,波场正向传播及逆时外推时较直接、快速。模型测试结果证明了方法的可行性和有效性。     

非分裂完全匹配层边界存储时间域全波形反演

正演波场的储存或重建是制约时间域全波形反演的关键问题,以计算代替存储的常规分裂完全匹配层（PML）边界存储策略可有效减少存储量。但常规分裂PML边界条件所需变量个数多、计算存储量大以及编程复杂。为此,采用非分裂复频移完全匹配层（CFS-NPML）有效边界存储策略重建正演波场实现时间域全波形反演。研究表明：CFS-NPML所需变量个数少,在边界吸收层网格点较少时吸收效果优于常规PML边界条件,波场重建过程中所需存储量少于常规PML边界条件。数值试验表明,该存储策略得到的重建波场与正向传播波场几乎无差别,其全波形反演结果与常规保存波场反演法一致;正演过程中引入并行计算技术未显著增加波场重建导致的额外正演时间。     

Full Color Emission in ZnGa2O4: Simultaneous Control of the Spherical Morphology,Luminescent, and Electric Properties via Hydrothermal Approach

ZnGa₂O₄ and ZnGa₂O₄: Mn²⁺/Eu³⁺ with uniform nanosphere (diameter about 400 nm) morphology have been synthesized via a facile hydrothermal approach. XRD, Raman spectra, XPS, FT‐IR, SEM, TEM, photoluminescence (PL), and cathodoluminescecne (CL) spectra are used to characterize the resulting samples. The controlled experiments indicate the dosage of trisodium citrate and pH values are responsible for shape determination of the ZnGa₂O₄ products. The possible fast crystallization–dissolution–recrystallization formation mechanism for these nanospheres is presented. Under UV light and low‐voltage electron beam excitation, ZnGa₂O₄, ZnGa₂O₄: Mn²⁺ and ZnGa₂O₄: Eu³⁺ emit bright blue, green, and red luminescence, respectively. Based on density functional theory calculations from first principles, the green and red emission are caused by the Mn 3d and Eu 4f electronic structures, respectively. Besides, the dependence of the CL intensity on the calcination temperature and electrical conductivity of the samples is presented. The ZnGa₂O₄: Mn²⁺ nanospheres have a higher CL intensity than that of bulk samples under the same excitation condition. The realization of three primary colors from a single host material suggests that full color display based on ZnGa₂O₄ nanospheres might be achievable, showing that these materials have potential applications in lighting and display fields.     

柠檬酸金钾无氰沉金厚度控制研究

柠檬酸金钾化学沉镍金工艺是一种新型无氰沉金工艺。利用单因素变化模拟试验及镀层厚度测试研究了该工艺中反应温度、金盐浓度、添加剂浓度、pH值、副产物等因素对无氰沉金工艺的影响,确定金平均沉积速率随各因素变化的关系,为实际生产中沉金厚度控制提供理论依据。