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热丝CVD法低温制备的多晶硅薄膜质量对衬底依赖性的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
以SiH4和H2作为反应气体,采用HWCVD的方法分别在石英玻璃、AZO、Si(100)和Si(111)衬底上制备了多晶硅薄膜。利用X射线衍射(XRD),拉曼(Raman)光谱和傅里叶红外(FT-IR)吸收光谱研究了不同衬底对多晶硅薄膜的择优取向、晶化率和应力的影响,用SEM观察了多晶硅薄膜的表面形貌。研究发现在4种衬底上生长的多晶硅薄膜均为(111)择优取向。单晶硅片对多晶硅薄膜有很强的诱导作用,并且Si(111)的诱导作用优于Si(100)的诱导作用。AZO对多晶硅薄膜生长也有一定的诱导作用。通过计算薄膜晶态比,得到除以石英为衬底的样品外,其它3种样品的晶态比均在90%以上,尤其以单晶硅片为衬底的样品更高。石英玻璃、AZO和Si(100)上生长的多晶硅薄膜中均存在压应力。 相似文献
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D114柴油机曲轴原采用精加工后软氮化工艺,不仅主轴颈跳动难以达到图纸要求,而且曲轴综合性能不高,成为114柴油机发展的一大主要问题。圆角淬硬曲轴是柴油机曲轴的发展方向,但磨削后在主轴颈、连杆颈易产生表面烧伤及磨削裂纹等现象。本文主要介绍圆角淬火曲轴磨削工艺的攻关过程及解决方案。 相似文献
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采用交-直-交(AC/DC/AC)双三电平变频器的拓扑结构控制电机,整流部分采用电压矢量定向控制。外加功率前馈控制和中点电位控制技术,使得能量在双向流动的同时始终保持在接近于1的高功率因数下工作,畿量可回馈利用,对电网的谐波污染小,而且还具有很快的反应速度。逆变部分采用了简化三电平SVPWM算法,外加中点电位控制,本文... 相似文献
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Abstract: A constitutive materials model, which includes Ohno–Wang's kinematic hardening rule, is employed to simulate the isothermal monotonic and cyclic behaviours of high‐pressure die cast magnesium AM60B alloy under uniaxial loading condition. An implicit constitutive stress integration scheme developed by Kobayashi and Ohno 9 is used to code the model into an ABAQUS user materials subroutine (UMAT). After the material parameters used in the current model were obtained from the experimental results, the predictive capability of the model was verified. 相似文献
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1000.
探询人的存在——张应鹏和他的建筑 总被引:1,自引:0,他引:1
张应鹏是一位职业建筑师,更是一位有着人文理想的建筑师,这点首先体现在他特殊的教育背景上:从土木到建筑再到哲学。由于他对建筑的独特理解,他的设计作品所表现出来的永远是对人性的关怀和人的存在的追问。 相似文献