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101.
微电子机械系统与虚拟现实技术都是最新的技术生长点;将此两项技术结合,建立起微机械的虚拟现实系统,无论是对虚拟现实技术的应用,还是对微电子微机械系统的发展都具有巨大的意义。本文将VR技术引入MEMS,给出了微机械的虚拟现实系统体系结构,并在此体系基础上提出了微机械操作的多种控制方式。 相似文献
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104.
基于微放电加工元件轮廓测量的探针制造 总被引:1,自引:0,他引:1
KAWADAMasayoshi MITSUIKimiyuki 《纳米技术与精密工程》2004,2(2):124-131
为了推动微加工和微机械技术的进步,微型零件轮廓和尺度测量方法的发展非常重要.可行方法之一就是使用带微探头的小型三维轮廓测量仪.这种仪器的探头必须针对某个零件的测量,按照最佳外形制造.微放电加工有着极小加工力,可用于各种探头的制造,本研究中用它进行探头加工.用这种方法制造了多种探头,将其装在基于扫瞄隧道显微技术(STM)的小型三维轮廓测量仪上.所制造的探头已被成功地用于各种微元件测量,结果表明此方法可行. 相似文献
105.
自适应光学系统MEMS微变形镜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
指出了传统变形镜研究所面临的瓶颈,以及采用MEMS技术研究微变形镜的优点.介绍了利用静电力驱动的平板电容式分立式微变形镜.分析结果表明它具有比传统变形镜更优越的性能.指出了进一步研究与发展MEMS微变形镜还需要解决的若干重要问题. 相似文献
106.
PFEIFERT SCHMITTR DOERNERD SCHNEEFUBK 《纳米技术与精密工程》2004,2(4):308-313
表面特征参数的在位检测对生产过程控制可提供十分有用的信息,从而可在制造过程中直接调节加工参数.检测要求取决于应用领域.对于超精密表面,例如微结构的或连续结构的光学器件,宜应用干涉法进行形状检测,因为干涉法有极高的精度和适应性,此外,表面可被迅速检测,因而减少生产时间.但是干涉法对机器振动、噪声或空气扰动等外界影响十分敏感,因而很难在生产环境中完成干涉测量.提出了在机械加工环境中的干涉测量和基于对在位干涉检测中各种基本干涉影响分析结果基础上的仿真. 相似文献
107.
108.
109.
华健 《上海工程技术大学学报》2004,18(1):20-23
归纳了汽车零部件制造中的各种加工方法及工艺,对目前在现代汽车制造中所应用的最新的加工方法及工艺作出介绍和分析,为中国汽车零部件生产企业提供技术参考。 相似文献
110.
刘卫 《湖南冶金职业技术学院学报》2004,(1)
摘要:着重论述氮对含钒微合金钢的沉淀强化、晶粒细化、钢的时效性能、轧制工艺等方面的特殊作用,及其富氮在生产高强度Ⅲ级螺纹钢筋中的应用。 相似文献