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等离子体氧化nc-Si/SiO_2多层膜的蓝光发射 总被引:1,自引:0,他引:1
报道了在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中用交替淀积 a-Si对其进行原位等离子体氧化的方法制备了 a-Si∶H/ Si O2 多层膜。随着 a-Si∶H子层的厚度从 3 .8nm减小到 1 .5 nm,a-Si∶H/ Si O2 多层膜的光吸收边和光致发光 (PL )出现了蓝移。在晶化的 a-Si∶ H/ Si O2 多层膜中不仅观察到室温下的红光带 (80 0nm)的发光峰 ,而且还观察到蓝光发射 (4 2 5 nm) ,结合 Raman,TEM和 PL测试 ,对其原因作了简单的分析 相似文献
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等离子喷涂燃料电池连接板LSM薄膜的性能研究 总被引:2,自引:2,他引:0
采用等离子喷涂法在SUS 430连接板基体上制备了LSM(La0.8 Sr0.2 MnO3)薄膜。用X射线衍射仪、扫描电镜和电子探针分别研究了喷涂前后LSM的相组成、薄膜的表面形貌和元素分布。用图像分析法计算了薄膜的孔隙率。二支点法测量了有与无LSM薄膜的SUS 430基体在130~800℃时的电导率。结果发现,薄膜与基体结合良好,薄膜孔隙细小,均匀分布,且非连通;LSM的相组成在喷涂前后保持一致;当温度<330℃时,有LSM保护膜的连接板的电导率小于无LSM薄膜的连接板的电导率;温度>330℃,结果相反。有LSM保护膜的连接板在空气中,130~800℃下,最大电导率为0.60Ω-1·cm-1。 相似文献
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In the research presented here, we explore the use of a low‐energy plasma to deposit thin silicone polymer films using tetramethyldisiloxane (TMDSO) (H(CH3)2? Si? O? Si? (CH3)2H) on the surface of an ethylene propylene diene elastomeric terpolymer (EPDM) in order to enhance the surface hydrophobicity, lower the surface energy and improve the degradation/wear characteristics. The processing conditions were varied over a wide range of treatment times and discharge powers to control the physical characteristics, thickness, morphology and chemical structure of the plasma polymer films. Scanning electron microscopy (SEM) shows that pore‐free homogeneous plasma polymer thin films of granular microstructure composed of small grains are formed and that the morphology of the granular structure depends on the plasma processing conditions, such as plasma power and time of deposition. The thicknesses of the coatings were determined using SEM, which confirmed that the thicknesses of the deposited plasma‐polymer films could be precisely controlled by the plasma parameters. The kinetics of plasma‐polymer film deposition were also evaluated. Contact angle measurements of different solvent droplets on the coatings were used to calculate the surface energies of the coatings. These coatings appeared to be hydrophobic and had low surface energies. X‐ray photoelectron spectroscopy (XPS) and photoacoustic Fourier‐transform infrared (PA‐FT‐IR) spectroscopy were used to investigate the detailed chemical structures of the deposited films. The optimum plasma processing conditions to achieve the desired thin plasma polymer coatings are discussed in the light of the chemistry that takes place at the interfaces. Copyright © 2004 Society of Chemical Industry 相似文献
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本文着重对微波等离子体化学气相沉积法高速沉积的 a-Si∶H 膜的物理性能进行评价研究.测量了沉积膜的光电性能、暗电导激活能、光禁带宽度、光吸收特性、沉积膜中悬键态密度以及氢含量等,并讨论沉积条件对膜性能的影响.结果表明,在沉积速率高达30~90(?)/s 情况下,膜的光电导(光照强度10~5Lux)与暗电导比值可达10~3~10~5,暗电导率从10~(-3)到10~(-11)((?)cm)~(-1),其激活能在0.23~0.88eV 之间(0~200℃温度范围内),光禁带宽度为1.40~2.20eV,氢含量约为2~20%. 相似文献
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钱定榕 《红外与毫米波学报》1991,10(2):156-160
研究已表明掺杂HgCdTe中不存在对于自由载流子等离子体振荡的朗道阻尼,本文进一步研究了HgCdTe掺杂及随之产生的简并对自由载流子能量色散关系的影响,并将这种影响计入自由载流子的介电函数后,从理论上证明了掺杂窄禁带半导体中不存在朗道阻尼的现象是由于自由载流子能量色散关系变化引起其运动行为变化所致。 相似文献
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