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11.
一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
通过厚胶光刻工艺在硅片上制备SU-8胶模板,利用该模板制备了高分子聚合物PDMS(Polvdimethvlsiloxane,聚二甲基硅氧烷)微流道和薄膜结构。通过对不同结构的两层PDMS的不可逆粘接得到一种简单的阀结构,在外加气源压力作用下薄膜产生变形实现对微流道的控制。实验测量了微阀的控制气源压力与被控制液体流量之间的关系,说明膜阀的开闭性能良好。根据弹性薄膜的变形理论,对影响微阀性能的参数进行了分析,并提出了几种可行的用于薄膜微阀控制的方法。  相似文献   
12.
从PZT体系看无铅压电陶瓷的可能应用   总被引:4,自引:0,他引:4  
总结了主要以(Bi0.5Na0.5)TiO3和NaNbO3为基的无铅压电陶瓷的性能,以Pb(Ti,Zr)TiO3基二元系、三元系压电陶瓷的性能与应用为参考,分析了无铅压电陶瓷可能的器件应用。此外,还对拓宽无铅压电陶瓷应用需要改进的性能提出了建议。  相似文献   
13.
由于干态聚合物电解质目前还不能满足聚合物锂离子电池的应用要求,人们致力于开发含液体增塑剂的聚合物电解质,包括凝胶型和微孔型两类体系。本文综述了含液聚合物电解质的最新进展,重点论述了各种新体系和新方法。  相似文献   
14.
一种微透镜阵列的研制   总被引:1,自引:0,他引:1  
杨修文  祝生祥  谢红  路素彦 《光电子技术》2003,23(3):170-172,181
介绍一种利用表面张力的作用、以光纤作材料、用分离的自聚焦透镜制作微透镜阵型的方法,这种方法具有制作工艺简单、无须昂贵设备等优点,用此方法实际制作了具有良好连续面型的微透镜阵列,并对制作的微透镜阵列进行了测试,效果较好。  相似文献   
15.
一等环规测量装置采用He-Ne稳频激光波长作为测量基准 ,应用干涉条纹进行绝对测量 ,配以高精度的数字细分电路 ,使仪器分辨力达到 5nm ;静态光电显微镜瞄准不确定度为 30nm ;精密定位技术使其驱动步距达到 5nm  相似文献   
16.
提供了一种考虑到微制造工艺实际的对微胶体推进器的起始电压进行估计的方法.本方法的关键在于把基于深度干法腐蚀的微推进器的两极简化成一组双曲等势面中的两个,利用拉麦方程得到微推进器两极间静电场分布的近似解.进而分析微胶体推进器源极顶端工质液滴的静电力和表面张力的平衡,得到微胶体推进器的起始工作电压.按照工作电压的估计方程,基于ICP腐蚀,设计了4种微胶体推进器.利用悬臂梁和电涡流微位移传感器对微推进器的测试结果表明,利用该方法对微胶体推进器起始电压进行的估计和实际测试结果有很好的一致性.  相似文献   
17.
《今日电子》2006,(1):79-79
“数字式”SiSonic贴片式麦克风采用微机电(MEMS)麦克风技术,适用于对元器件密度要求严格的应用领域。与“模拟式”SiSonic麦克风相比,“数字式”SiSonic为脉冲密度调制产品,集成休眠模式,能够与立体声输入应用兼容。  相似文献   
18.
吐哈油田部分区块地层压力系数小于0.9,常规水基压井液对储层伤害大,若使用油基压井液成本高,环境污染严重。通过实验优选出了一种低密度水基微泡沫压井液。该压井液具有密度低、泡沫强度高、稳定性好、携砂能力强等优点。现场应用表明,低密度微泡沫压井液稳定时间大于48 h,密度在0.70~0.99 g/cm3之间可调,抗油污染能力强,抗油大于8%,抗温在100℃以上,岩心污染后渗透率恢复值大于80%;并且施工方便,成本低,具有储层保护能力,使用微泡沫压井液的井表皮系数在0.20~2.34之间。  相似文献   
19.
20.
聚偏二氟乙烯(PVDF)压电薄膜传感器频响范围大、具有热电效应等的特性,应用潜力很大.在智能系统中用作传感器和作动器,在振动检测方面主要应用于音乐拾音、机器状态监测、轴承磨损、风扇气流和绳带断裂等,在加速度检测中作加速度计,在无损检测(NDT)中以传感器阵列的形式出现,还可用于人体运动、体育计分,人体健康、开关、打印头,乐器、麦克风,声纳,售货等的监测.  相似文献   
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