纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究

本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风，采用了硅微机械技术，且实现了麦克风电容两电极之间的自对准，大大提高了麦克风的生产效率，降低了成本．纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用，而纹膜的三维结构使麦克风电容的有效面积有所增加，这些都显著地提高了麦克风的灵敏度，是该项新结构的关键．本文从理论和实验上对纹膜结构机械性能与结构尺寸参数之间的关系，及结构的优化进行了研究．通过对制作出的不同结构参数ｑ值的麦克风的测试，得到了与初步理论分析基本相符的实验结果．实验证明，纹膜结构具有比相应的平膜结构高得多的机械灵敏度和麦克风     

面向表面微加工工艺的微器件设计框架的研究

本文以微器件设计为对象，对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究，提出了采用基于三层Web-ASP集成框架实现e-CAD原型工具的编程方案，其中，并行任务流管理与控制，微器件实例及设计资源库，微加工工艺规划及仿真，微器件设计评价等是该系统实现的关键要素，在此基础上将建立网上微器件设计中心，并通过应用服务机制，实现对微器件设计工具使用的商务化，以达到降低设计成本，加快MEMS产业化之目的。     

濮城油田东西区沙二下顶面微构造特征与剩余油分布

濮城油田沙二下是一个被断层复杂化了的断块型油气藏，通过对储层的精细描述表明，各砂岩组顶面微构造发育，其成因有2种，与构造作用有关的微构造及与构造作用无关的微构造，前者规模较大，后者规模通常较小，根据微构造的起伏变化和形态，可分为3类：正向微构造，负向微构造，斜面微构造，正向微构造是油气富集与控制剩余油分布的重要微构造。     

油气微运移的烃类相态

微运移机制是目前油气化探等非地震直接找油的理论基础,只有研究清楚油气微运移的相态,才可能进一步研究微运移的机制;含油气水相是油气发生微运移最普遍和优先起作用的相态;在特定的地质条件下,不排除油气以其它相态发生渗漏的可能。     

高性能∑-△A/D转换器MAX1403在微功耗旋涡流量计中的应用

本文在旋涡流量计中采用MAX1403芯片进行温度、压力传感器的激励、信号放大和16位A/D转换,缩小了体积,提高了可靠性,满足了该流量计研制中低功耗、高精度的苛刻要求.     

一种用叠层式降压型压电变压器的高频开关电源

介绍一种叠层式压电陶瓷降压型变压器的基本结构，工作原理，等效电路以及实验测度与等效计算的结果，介绍这种压电变压器用于高频开关电源产品的工作状态测试结果；叠层式降压型压电陶瓷变压器用于高频电源的优点及宽广的应用领域。     

Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能

微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注。利用微机电系统（MEMS）加工技术，制备Si基膜片型微结构单元，并分析其热学性能。这种单元工作区温度为-300℃时，加热功率约75mW；并且膜片工作区的热质量很小，温度可以于毫秒量级的时间内，在室温和450℃之间调制。利用这种微结构单元，可以在温度调制方式下，研究气敏薄膜的电学特性和敏感机理。     

瞬时心率测量与压电传感器

一、概述在运动员训练过程中,常以心率值来判断运动程度和运动质量。如果心率过低,则达不到训练目的;心率过高,运动又过于剧烈而使人难以承受。据有关资料报导,对于25岁左右的人来说,运动时心率值在140～170次/分为佳。所以,在体育训练中,对运动员的瞬时心率测量必不可少,尤其对教练员则更是至关重要。     

微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)

微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景.