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具有RHEED在线监控功能的超高真空CVD系统及3″硅片低温外延研究 总被引:3,自引:1,他引:2
本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相溶积系统,本底真空达10^-7Pa。该系统配有反射高能电子衍射仪,可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控。 相似文献
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介绍了利用FoxBASE^+的几个特殊命令来实现FoxBASE^+程序的在线帮助功能的具体方法。 相似文献
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黄维荣 《自动化与信息工程》1994,(1)
Point30是日本TESCON公司生产的载件电路板分析仪,该系统的特点是测试速度快,重复性好,具有较好的性能价格比,在国内拥有大量用户。本文对该系统进行硬、软件分析,介绍该系统的技术特点及性能,便于用户使用及维护。 相似文献
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归纳了现在比较流行的几种油浸变器在线监测方法并结合当前最新的监测仪器,提出综合诊断的应用,并对变压器在线监测方法的选取提出了一些看法和建议。 相似文献