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82.
65 nm及以下线宽对Si片表面的各方面性能要求越来越高,主要体现在两个方面,一个是加工工艺,另一个是加工设备.在加工方法上,65 nm线宽用300 mm Si片不同于90 nm,如运用多步单片精密磨削,不仅可以提高表面几何参数,还可以减小表面特别是亚表面的损伤层.而对于加工设备,要求更加精密,特别是单面精抛光,在保证去除量的同时还要使Si片表面各点的去除量保持均匀.对目前300 mm Si片的磨削、抛光及清洗的每一道工艺流程,特别是相对于65 nm技术的一些加工流程及方法的最新发展进行了详细的论述,指出了300 mm Si片加工工艺的发展趋势. 相似文献
83.
研制成功的以89C51单片机为控制诉轴承内圆磨削在线检测控制仪,采用程序控制,克服了传统7的模拟式仪表的一些缺点,具有测量精度高,线路简单、显示直观等优点,文章阐述了该仪器的基本工作原理,给出了主要的硬件结构框图及软件流程图。使用表明其性能良好,效果明显。 相似文献
84.
超声磨削表面三维形貌建模与试验研究 总被引:2,自引:1,他引:2
为了研究超声磨削的工件三维形貌,建立了砂轮表面三维形貌,通过对超声磨削磨粒运动轨迹分析,建立了磨粒在工件表面的切削过程模型。提出了大量随机分布磨粒切削工件路径的离散算法和最小高度值包络曲面提取算法,实现了超声磨削表面三维形貌的建立。进行超声磨削试验,结果表明:该模型能有效预测超声磨削的表面形貌,为超声磨削的工艺优化提供了理论依据。 相似文献
85.
采用探针法测定了水曲柳、毛竹和落叶松砂带磨削表面的粗糙度,分析了影响表面粗糙度的因素,并采用心理分析方法讨论了的粗糙感与表面粗糙度关系;还分析了木材表面粗糙度对胶合强度的影响.为获得不同树种及不同粒度砂带磨削对工件表面粗糙度和粗糙感的影响,实验测量了磨削工件表面的粗糙度和粗糙感触觉心理量、视觉心理量.研究结果表明,材种和表面组织构造影响表面粗糙度;表面粗糙度值因为材种不同而不同,随着加工精度的提高而降低;水曲柳、毛竹和落叶松表面粗糙感的触觉心理量与视觉心理量呈正相关;阔叶材、竹材、针叶材表面粗糙感的触觉心理量与视觉心理量的相关性逐渐增大;触觉心理量与表面粗糙度参数的相关性要高于视觉心理量.砂带磨削木竹材表面的胶合强度在磨削砂带柱度为100~150目时达到最大值. 相似文献
86.
针对WC-Co涂层在磨削中磨削温度会引起相变,进而导致磨削缺陷的问题,以DMU70V数控铣床为平台进行WC-Co涂层磨削实验,利用K型热电偶和DGF40N光纤式红外测温仪测量磨削温度,借助x-射线衍射仪分析磨削前后WC-Co涂层物相组成.实验结果表明,利用热电偶测得的磨削温度与根据磨削过程中WC-Co涂层物质相变推测得到的磨削温度相差较大,利用WC-Co涂层物质相变推测的磨削最高温度与DGF40N光纤式红外测温仪测得的磨削最高温度一致,说明可以利用WC-Co涂层物质相变来推测磨削最高温度,为一些不能直接测量磨削温度的场合提供了新方法.WC晶粒在WC-Co涂层干磨削时大多异质生核,磨削后产生的WC晶粒粒度大,从而导致WC-Co涂层的强度下降,WC-Co涂层不宜干磨削. 相似文献
87.
针对凸轮磨削加工过程中存在局部升程误差严重超差的问题,提出了加权支持向量机的凸轮升程误差补偿方法。首先根据圆率的符号判断凸轮升程误差值是否连续,然后建立了不连续点与相邻点之间夹角与加权值的关系。通过加权支持向量机对凸轮升程误差值进行拟合。然后将原始凸轮升程值减去经拟合后的凸轮升程误差值,获得新的凸轮升程值。再根据圆率自动调整加权值的系数,使凸轮升程值光滑点数最大,即获得最优的凸轮升程值。对上述算法进行仿真和编程,经YTM8336-16数控凸轮轴磨床进行磨削验证。实验表明,凸轮升程误差由原来的±0.059 mm降至±0.011 mm,表面粗糙度由Ra0.32μm降至Ra0.25μm,获得良好的效果。 相似文献
88.
用不同粒度金刚石砂轮及EL ID技术精密磨削两种典型的天然石材,跟踪观察天然石材在EL ID磨削过程中表面形貌变化、加工后的表面粗糙度以及表面光泽度,并通过扫描电子显微镜和三维表面构造分析仪分析加工后的石材表面。实验结果表明,利用超细粒度金刚石砂轮进行EL ID磨削可在石材主要矿物上获得粗糙度极低的光滑表面,但无法消除石材与生俱来的裂隙、晶界等缺陷,正是这些缺陷限制了表面光泽度的进一步提高。 相似文献
89.
90.
概述了近年来磨削技术及理论研究的最新进展,其中包括磨削机理、磨削力建模和磨削力研究方法,还介绍了几种典型的木材磨削力实验研究的方法,以及个别材种的最佳磨削加工条件. 相似文献