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81.
魏向荣 《电子工业专用设备》1991,20(3):43-47
<正> 概 述 在大规模集成电路生产中,自动对准技术是极其关键的一项技术,它主要解决IC生产中的图形刻套问题,以提高产品成品率及生产效率。该技术是西方发达国家对我国微电子工业发展实行技术封锁与控制的重点,也是自七十年代初至今这二十余年来严重困扰和阻碍我国集成电路制造与发展的一项久攻未破的老大难问题。我所作为我国专门从 相似文献
82.
83.
GaAs亚微米自对准工艺技术研究 总被引:2,自引:2,他引:0
总结了在50mmGaAs圆片上实现自对准介质膜隔离等平面工艺技术的研究,着重描述了离子注入、自对准亚微米难熔栅制备、钝化介质膜生长、干法刻蚀、电阻和电容制备等关键工艺的研究结果。这套工艺的均匀性、重复性好,在50mmGaAs圆片上获得了满意的成品率。采用这套工艺已成功地研制出多种性能良好的GaAsIC和GaAs功率MESFET,证明国家自然科学基金委员会这一重大课题的选择对发展我国GaAsIC确实具有重大意义。 相似文献
84.
介绍一种数字集团电话──微电脑控制的选键电话系统计量当计算机技术与办公自动化迅速发展时,一种适应办公室使用的数字集团电话——微电脑控制的选键电话系统应运而生。由于它技术先进、容量较小,系统结构简单。能提供多种服务功能,且有较大的灵活性,使用方便,因而... 相似文献
85.
硅直接键合工艺对晶片平整度的要求 总被引:1,自引:0,他引:1
本文用弹性力学近似,给出了键合工艺对硅片表面平整度的定量要求以及沾污粒子与孔洞大小洞的关系,并用X射线双晶衍射技术和红外透射图象对键合硅片进行了实验研究。 相似文献
87.
88.
也谈轻型钢结构房屋柱基设计 总被引:1,自引:1,他引:0
对柱脚抗剪键的设置和计算中所取用的荷载组合提出个人观点,同时对轻钢结构柱脚螺栓受拉计算提出注意事项. 相似文献
89.
本报告以燃烧法所合成出来的铁镍合金,利用金属的硝酸盐类以低温燃烧法制备介金属的磁性奈米微粒,所使用的先驱物药品为硝酸铁(Fe(NO3)3·9H2O)及硝酸镍(Ni(NO3)2·6H2O),燃烧剂为卡巴胺(Carbohydrazide,CHZ),其制成铁镍颗粒大小约10~30 nm.在不同的参数条件下,比较包覆金(Au)之前的磁性与包覆后之磁性奈米微粒的型态,铁镍合金包覆金后仍然具有相当的磁性,其饱和磁化量随包覆金浓度增加而降低,而矫顽磁场与包覆金浓度成反比关系,金的最佳包覆浓度在C=2.02mg/ml与C=0.25mg/ml之间. 相似文献
90.
田丰 《智能建筑与城市信息》2006,(2):109-112
熔接机用于连接光纤,其接头损耗小,并保持接头长期稳定。每个特定的接头损耗都依赖于某个特定的条件,比如光纤准备的质量、接续参数、光纤自身的结构以及光纤加热后的变化等等。本文描述了一种用于具有图像处理的光纤纤芯对准式熔接机的新的自动熔接时间控制技术。该新技术弥补了光纤加热时的变化,降低平均接头损耗高达60%,减少接续失败率高达70%。此外,还可以采用该技术得到精确的衰减接头。 相似文献