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971.
972.
激光微细加工中微小曝光区域的计算机温度测量系统 总被引:6,自引:2,他引:6
在半导体的激光微细加工技术里,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数,必须得到精确的测量。而为了使温度测量不影响曝光区的温度分布,需采用不接触测量方法。研制了计算机温度测量系统,实现了微小激光曝光区温度的实时不接触测量。系统中,InGaAs/InP光探测器将微小高温区的温度信号转换为光电流.再经信号放大及模/数转换后输入计算机。结合温度定标实验,对测得的温度数据进行插值运算,在实验中可以实时显示出曝光区的温度值。系统的温度分辨率可达到0.2℃,测量区域的最小直径可达到18μm。同时设计了搜索算法,使温度数据采集和精密位移平台的移动相配合,实现了温度分布的测量和最高温度区的准确定位。 相似文献
973.
材料性能参数与板料激光弯曲成形角度的相关性研究 总被引:2,自引:0,他引:2
板料激光弯曲成形是一种柔性、无模成形新工艺,它通过激光扫描金属板料所导致的非均匀热应力使板料产生塑性变形。材料的性能参数(包括力学性能与热物理性能)对激光弯曲成形的影响很大,通过三维热机耦合有限元仿真研究了材料性能参数与板料激光弯曲角度之间的相关性,研究表明,小弹性模量、低屈服强度的材料容易产生大的弯曲变形。热膨胀系数与弯曲角度之间成正比关系,当热膨胀系数趋于零时,弯曲角度也趋于零。小的热传导系数有利于形成大的温度梯度,从而使板料产生大的弯曲变形;比热越小,加热区内材料的温升越大,使板料容易弯曲变形。 相似文献
974.
准连续17 kW 808 nm GaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵 总被引:4,自引:5,他引:4
高功率激光二极管列阵广泛应用于抽运固体激光器.报道了17 kW GaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵的设计、制作过程和测试结果.为了提高器件的输出功率,一方面采用宽波导量子阱外延结构,降低腔面光功率密度,提高单个激光条的输出功率,通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法进行材料生长,经过光刻、金属化、镀膜等工艺制备1 cm激光条,填充密度为80%,单个激光条输出功率达100 W以上;另一方面器件采用高密度叠层封装结构,提高器件的总输出功率,实现了160个激光条叠层封装,条间距0.5 mm.经测试,器件输出功率达17kW,峰值波长为807.6 nm,谱线宽度为4.9 nm. 相似文献
975.
976.
977.
采用激光全息(TV—holography)振动测试技术测量和分析了CD光盘的固有频率、模态振型以及模态分布情况。采用非接触声激励和非接触式激光全息摄像精确地测量出了CD光盘从零节圆到三节圆五节径的振动模态,最高模态频率达6300Hz。分析了节径振型和节圆振型间的关系和出现规律。结果表明:光盘的振型节线是由中心对称和轴对称的节径和节圆组成的,它们对应的振型也是中心对称和轴对称的;光盘的各阶固有频率是按一定的顺序排列的,节径和节圆的出现是有规律的,文中给出了表示这些规律的表达式。 相似文献
978.
郑举功 《纳米技术与精密工程》2004,2(4):261-265
目前,碳纳米管的各种制备方法如电弧法、激光消融法、催化热解法及化学气相沉积法等,都是在500~3500℃温度范围内经由气固相接触表面合成的,从而使反应的深度和广度都受到了限制.利用固相热解法尝试在溶胶玻璃中原位合成碳纳米管,该方法可以使反应在整个固相范围内同时发生,而不只是在气固相的表面合成.在制备样品的过程中采用了溶胶-凝胶法,成功地将碳源(乙酰丙酮)和催化剂(硝酸钴)均匀地分散在SiO,溶胶玻璃中,制备了纳米级的复合材料.另外,选择了乙酰丙酮作碳源,将碳纳米管的合成温度降到了400℃,实现了在低温固相条件下原位合成碳纳米管.最后通过TEM对生成的纳米碳管进行表征. 相似文献
979.
使用振荡器产生的飞秒激光在透明有机材料PMMA表面进行了刻划微结构光栅的研究.通过理论分析得到了飞秒激光参数和平台移动速度对线宽的影响,进行了系统的加工实验,加工结果与理论分析基本吻合.在透明有机材料PMMA表面进行了多种光栅的刻划,并对刻划的光栅进行了衍射和色散测试,调整光栅的尺寸和排列方式,得到了形状各异的衍射图案。 相似文献
980.
本文提出了一种制备高性能纳米陶瓷粉体的新方法.将异醇铝溶液溶于易燃溶剂中配制成初始反应溶液,通过组合喷嘴让该溶液雾化并穿过氧-乙炔火焰,通过化学燃烧制备纳米α-Al2O3粉体.通过完全燃烧计算、雾化试验和燃烧试验,确定了溶液喷口、雾化剂(O2)喷口和氧-乙炔喷口的压力和流量的工艺参数.扫描电镜,激光测粒仪,高分辨透射电镜分析表明,用上述方法制备的纳米α-Al2O3以球形和六方棱柱为主,含极少量菱面体,颗粒尺寸为20~30nm,粒度均匀细致且分散性好. 相似文献