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91.
Si衬底上Ta-N/Cu薄膜性能研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
对Si衬底上Ta-N/Cu薄膜进行了电学和热学分析,结果发现500℃以下薄膜电随几乎不变,600-690℃下的退火引起的电阻率降低是由于Ta-N电阻的热氧化和Cu熔化扩散引起的,而690℃以上的电阻率增加是由于Cu引线传输能力减弱所致,为0.18μm以下的超大规模集成电路中的Cu引线和电阻薄膜的制作提供了有益的借鉴。  相似文献   
92.
PVD涂层工艺在M3滚刀上的应用   总被引:3,自引:0,他引:3  
对M3滚刀进行了物理气相沉积 (PVD)工艺试验。经高温耐磨试验和切削试验证明 ,M3滚刀经TiN涂层后 ,其耐磨性和使用寿命显著提高。  相似文献   
93.
医用聚氯乙烯材料的表面光接枝改性   总被引:6,自引:0,他引:6  
研究了在不排氧氛围下 ,紫外光照射 ,以二苯甲酮 (BP)为光引发剂 ,甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)在医用聚氯乙烯 (PVC)薄膜表面的气相接枝聚合。探讨了反应条件对接枝结果的影响 ,并用正交法指出了影响因素的显著性。用傅立叶红外 (FT- IR)、水接触角作为接枝改性结果的表征。FT- IR谱图表明 GMA已接枝到 PVC膜表面。水接触角由接枝前的 78°下降到 5 4°  相似文献   
94.
TiB2是一种超硬材料,块体TiB2的硬度高达HV30Gpa,而且耐腐蚀、抗氧化,还具有优良的导电性能,是一种受到广泛重视的导电耐磨涂层材料[1].  相似文献   
95.
几种高性能汽车用铸造铝-硅合金   总被引:8,自引:0,他引:8  
简要介绍国内应用于汽车工业的几种重要铸造铝合金的成分和性能,并与国外同类铸造铝合金的性能进行了对比。  相似文献   
96.
吕在国  徐麟 《中国玻璃》2002,27(1):11-12
近年来,随着建筑物不断高层化的广泛使用玻璃幕墙及环境污染 增加,建筑的玻璃的清洁变成了十分耗时而又危险的工作。因此,利用锐钛矿型纳米TiO2具有催化活性高,化学稳定性好,价格低廉,使用安全及制备的薄膜透明等特点,将TiO2基薄膜与玻璃相结合,在不损失TiO2光经活性的前提下,可使玻璃自身有消除污染的功能,免除高层建筑擦洗玻璃的苦恼,已成为国内外众多厂家竞相开发的产品。  相似文献   
97.
《光学精密机械》2002,(4):22-23
  相似文献   
98.
摩擦强度对薄膜表面形态的作用:原子力显微镜下的观察   总被引:2,自引:2,他引:0  
郑文军 《液晶与显示》2002,17(6):422-428
展示了摩擦强度对聚酰亚胺薄膜表面形态的影响,原子力显微图像显示,机械摩擦会使聚酰亚胺薄膜表面上形成微沟槽,这些沟槽的表面具有丰富的表面精细构造。原子显微图像还揭示了机械摩擦可以改变被磨擦聚酰亚胺膜的表面形态。  相似文献   
99.
纳米多孔硅面光源矿山照明灯   总被引:2,自引:0,他引:2  
多孔硅发光是当今物理学的前沿课题之一。提出了利用多孔硅作为面光源研制新型矿山照明设备的构想以及该设备的产业化前景  相似文献   
100.
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