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为扩大流速传感器的测量范围并降低功耗,制造并测试了一种基于自加热非晶锗薄膜热电阻的MEMS流速传感器,它是由嵌入氮化硅薄膜的四个非晶锗热敏电阻和一对环境测温补偿电阻组成。四个非晶锗热电阻同时作为自加热热源和测温元件,相互连接以形成惠斯通电桥。给出了MEMS工艺流程,微加工制造了尺寸为8.9 mm×5.6 mm×0.4 mm的流速传感器芯片。搭建了低流速和高流速气流通道实验装置,对传感器的惠斯通电桥施加50μA的恒定电流(CCA),实现了0~50 m/s范围内的流速测量。结果表明,传感器在低流速(0~2 m/s)时的灵敏度约为81.6 mV/(m/s),在高流速(2~50 m/s)时的灵敏度约为51.9 mV/(m/s),最大功耗仅约为1.03 mW。 相似文献
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热温差型微流量传感器的性能受多个因素的影响,如环境温度的变化、供电电源的波动、加热电阻的冷却和导线电阻的引入等。通过ANSYS软件对环境温度及加热电阻温度的改变进行了有限元仿真,发现当两者的温度差值为恒定值时,传感器的输出信号偏差较小。从环境温度与加热电阻温度差值恒定的思路出发,结合目前补偿方法存在的不足——导线引入误差、环境温度检测电阻的自热效应使其检测出错误的环境温度、加热电阻受被测流体冷却后使测量发生偏差以及供电电源波动的影响等,提出了一种可行的补偿方案,包括对前端信号采集电路的优化和后续单片机电路的设计,使影响流量传感器测量性能的诸多因素被削弱,且控制也更灵活。通过分析验证,在相同测试条件下,所提出的方法比常用补偿方法的测试精度高出约1.2%,误差为0.2%。 相似文献
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工控现场常遇到对温度的监控,而对温度数据的采集和控制是解决问题的关键。通常工控现场使用PLC(可编程序控制器)作为系统的控制核心,温度变量经温度传感器(热电偶或热电阻)采集后,送入PLC的特殊功能单元——温度模块(变送器 模数转换),温度模块对采集到的温度模拟量数据(电压或电流)自动进行模数(A/D)变换,最后转变为PLC可读的数字量(16进制数,以二进制数存放),通过对PLC编程可实现对读入的温度数据进行单位转换和数模(D/A)转换,根据工业现场需要,编制相应的PLC处理程序,可对温度进行开环或闭环控制及实现温度对其他设备的跟随控制。 相似文献
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针对Pt100铂热电阻温度计算问题,详细分析了牛顿法与解析法的应用特性,在VC 6.0编程环境下对比了两种方法的绝对计算精度以及相对运行速度。结果表明,牛顿法的计算精度高,误差较小,运行速度快。解析法虽无模型误差,但实际数值的计算误差较大,且运算速度较慢,相比而言,牛顿法是较好的选择。使用牛顿法解决铂热电阻的温度计算问题,在工业控制领域具有广泛的应用价值。 相似文献
17.
针对铂等常用金属热敏材料电阻温度系数(TCR)不高,导致热式MEMS流速传感器宽量程测量时功耗高的问题,设计了 一种基于非晶锗(a-Ge)薄膜热电阻的低功耗、宽量程柔性MEMS流速传感器.非晶锗热电阻材料具有较高的TCR系数(约为-0.02/K)和室温电阻率(5Ω·m),传感器在较低的工作温差和功耗下可获得宽量程的流速测量.阐述了该柔性MEMS流速传感器的设计结构、工作原理、3D有限元建模和热-流场仿真结果.利用聚酰亚胺衬底空腔膜上的四个非晶锗热电阻同时作为自加热热源和测温元件.四个非晶锗热电阻组成一个惠斯通电桥,同时结合热损失和热温差原理来实现宽量程流速测量和测向.仿真结果表明,惠斯通电桥采用恒电流供电只需120μA,使得非晶锗热阻的工作温度与环境温度之间的温差不高于6 K,就可对0~50 m/s范围内的流速进行测量,且功耗在1.368 mW以内.该柔性流速传感器易于采用MEMS技术批量制造,可贴于曲面应用,非常适于物联网等低功耗流速传感领域. 相似文献
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热电阻产生误差的情况大致分为引线电阻误差、接线接头连接处电阻误差、温度传感器密封层破损漏水、自热效应、原件漂移、噪声和分辨率,文章基于这6类影响温度的情况,分别对这6类影响进行分析与处理,尽可能地减小或消除误差,确保接收到最准确的温度数据。 相似文献
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浅谈热电阻的测温原理及测量误差的主要影响因素、用热电阻正确测量及减小回路各项干扰是保证测温精度的前提.并分析了热电阻测温系统现场校验的注意事项. 相似文献
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