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高质量ZnO薄膜的退火性质研究 总被引:3,自引:0,他引:3
在LP-MOCVD中,我们利用Zn(C2H5)2作Zn源,CO2作氧源,在(0002)蓝宝石衬底上成功制备出皮c轴取向高度一致的ZnO薄膜,并对其进行500℃-800℃四个不同温度的退火。利用XRD、吸收谱、光致发光谱和AFM等手段研究了退火对ZnO晶体质量和光学性质的影响。退火后,(0002)ZnO的XRD衍射峰强度显著增强,c轴晶格常数变小,同时(0002)ZnOX射红衍射峰半高宽不断减小表明晶粒逐渐增大,这与AFM观察结果较一致。由透射谱拟合得到的光学带隙退火后变小,PL谱的带边发射则加强,并出现红移,蓝带发光被有效抑制,表明ZnO薄膜的质量得到提高。 相似文献
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本对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评,重点强调了等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)的优势,进展及其在工模具领域的应用。 相似文献
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碳/碳复合材料CVI工艺中热解碳形成机理的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
对碳碳复合材料CVI或(CVD)工艺中热碳组织的类型,沉积机理等研究情况进行了简要的综述,并对其进一步研究提出了相应观点。 相似文献
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真空辅助成型技术(一) 总被引:10,自引:0,他引:10
真空辅助成型技术(VARI-Vacuum Assisted Resin Infusion)在低成本复合材料(FRP)成型工艺中起着很重要的作用,本文将介绍它的特点、制造、性能以及在国内外应用情况。 相似文献
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三元复合肥熔融造粒机,至少由熔融保温料槽,直通阀门,振动造粒喷头和电磁振动器构成,熔融保温料槽的槽底设有直通阀门,阀门的阀体与熔融保温料槽的槽底固为一体,阀芯由导向板,阀杆,导轨和设置在熔融保温料槽外壁上的把柄控制机构实现其阀芯的开,闭,振动造粒喷头与直通阀门中的阀体相连,振动造粒喷头的喷壶部分设有电加热装置,电磁振动器位于熔融保温料槽的下方,其产生的动力通过连杆机构带动件运动。 相似文献
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