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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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介绍一种新型的恒通量的微滤膜———ISOFLUX 膜 ,该种膜的膜通量衰减比通常的微滤膜要小得多 ,对ISOFLUX 膜的原理和数学模型进行了推导 ,并给出了对牛奶进行冷杀菌过滤的结果 . 相似文献
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本文给出了多层介质膜反射率与入射角的关系的计算机程序,并列出了部份常用激光膜片反射率-角度曲线。 相似文献
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马格尼托哥尔斯克钢铁公司在2002年研制开发了冶炼含0.007%以下碳的IF钢工艺,而在次年开始IF钢的工业性生产。 相似文献
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Murray Slovick 《今日电子》2008,(7)
石油价格攀升和全球变暖导致了人们对清洁能源的需求,2008年最常搜索的单词就是“绿色”。由于普通美国人每年直接排放的二氧化碳大约是10吨(包括家庭、汽车,以及人们旅行所排放的),而在日常生活中(购买服装、食品等)每年间接排放的大约是23吨,所以公众已经很快表现出了对绿色产品的钟爱, 相似文献
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介绍了二次盐水及离子膜电解工序的主要设备和流程,对二次盐水及离子膜电解工序运行中出现的问题进行了分析,并提出了解决措施。 相似文献