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真空微电子荧光平板显示器件的实验研究刘杰明，李志能，陈秀峰（浙江大学信息与电子工程学系）关键词：真空微电子，反应离子刻蚀一、引言近十年来，随着真空微电子学的崛起，利用微细加工技术，使真空元器件集成化和高性能化已成为可能，一种新型场致发射阵列真空荧光平... 相似文献
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一种新颖的表面等离子谐振效应光波导水质传感技术 总被引：4，自引：0，他引：4
光学表面等离子谐振（ＳＰＲ）效应是一种很有效的水质检测技术，经过详细的理论推导，同了ＳＰＲ反射光强的普遍适用公式。在纯水与受污染水两种情况下，根据一些已知参数计算出结果。由计算结果数据一出的曲线比较表明，ＳＰＲ效应在两种情况下有明显差别，这也正是ＳＰＲ效应用于水质检测的理论根据。 相似文献
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金刚石车削非轴对称光学表面，要求车刀在轴向能作高速微位移运动。一般的位移驱动装置很难满足上述要求。本文用压电陶瓷补偿器作为刀具的微位驱动装置，实现了非轴对称光学表面的金刚石车削加工，并获得了满足的效果。 相似文献
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介绍了ＧａＡｓ ＭＭＩＣ高台面刻蚀制备工艺方法，解决了高低台面联线问题，提高了单片集成电路性能，保证了可靠性。 相似文献
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