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本文研究了采用锁定放大相干检测技术的等离子体光发射谱检测系统。用该系统检测了仅用CF4作为刻蚀气体刻蚀非晶硅基薄膜的等离子体光发射谱。分析了检测结果和刻蚀机理。 相似文献
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在城市旧房改造中,为充分利用原有结构,常采用加层改造的方法,其中加层部分轻钢结构应用较多,本文给出在轻钢加层后结构基频的简便计算方法。 相似文献
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穆斯堡尔效应及分析在磁性材料研制中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
采用永磁(锶)铁氧体对其穆斯堡尔谱线进行分析得出取向度,说明取向度对磁性能的影响。因采取的原材料及工艺条件所限.样品的磁性能并不高,但所得结论对实际工作有一定的参考意义。 相似文献