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951.
针对谐振式MEMS陀螺检测带宽与检测灵敏度相矛盾的问题,根据两质量块谐振器具有对机械位移放大的特点,提出了一种新型结构的谐振式MEMS陀螺,采用单自由度驱动、双自由度检测,驱动模态谐振频率落在检测模态两个质量块谐振频率叠加形成的平坦区域内,有效增加了陀螺检测带宽,提高了陀螺的抗干扰性能。建立了新型谐振式MEMS陀螺结构动力学模型,对陀螺结构进行有限元仿真分析,在常压环境下对陀螺结构进行测试。结果表明,该结构有效增加陀螺检测带宽,改善了陀螺的抗干扰性能,克服了由于工艺加工精度不足带来的陀螺结构不对称所引起的误差,降低了对加工工艺和加工精度的要求。 相似文献
952.
953.
分析化学机械平坦化(CMP)耗材发展现状及趋势,推断450 mm晶圆的CMP设备及技术的迫切性;在此基础上,展望450 mm晶圆将会采用系统集成技术、多区域压力控制承载器技术、抛光垫修整技术、终点检测技术、后清洗技术,并初步分析以上这些技术的特点。最后指出随着晶圆制造厂激烈竞争和持续投资,对450 mm的CMP设备要求必有所突破。 相似文献
954.
955.
956.
957.
本文介绍安邦信G11变频器在精密挤出机械上的应用,讨论了精密挤出机械的系统要求及安邦信G11变频器在精密挤出机械上的良好性能。 相似文献
958.
桑浦是意大利马克菲尔工业集团的一部分,作为一个公司的名称和设备的品牌,桑浦的历史中有着许多故事,1936年以“Societa Anonima Meooanioadi Precisione”为名字注册,经过70年的发展,成为了市场中的领先者。今天,桑浦公司向全球客户提供电缆制造设备,也是唯一能够提供电缆制造过程中,各环节所需全部设备的公司。 相似文献
959.
《电子产品可靠性与环境试验》2008,26(5)
罗门哈斯电子材料公司(ROH:Rohm and Haas Electronic Materials)宣布.其新型化学机械研磨垫表面沟槽设计能够减少缺陷和研磨液的用量.现已迅速得到全球各地市场的认可。全球各地的客户现在开始采用这些能显著地改善工艺性能的新型表面沟槽设计.以降低缺陷.延长研磨垫的使用寿命,减少化学机械研磨易耗品的总体成本。 相似文献
960.
针对镁锌铁氧体与镍锌铁氧体磁芯在高频性能和机械强度方面存在的差异,对材料配方,烧结工艺,制料工艺等方面进行了调整。结果表明:起始磁导率μi为50~2000时,镁锌铁氧体磁芯完全可替代镍锌铁氧体磁芯,从而大幅降低原材料成本。 相似文献