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文章对亚微米自对准硅化物制造设备及工艺进行了详细的描述。文中以实际生产为目标, 以实验数据为依据,对影响自对准硅化物薄膜特性的各项工艺参数进行调试和论证,找出合适的RTP1 温度,并开发出适合自对准硅化物薄膜的工艺标准。 相似文献
92.
在页岩气排液测试阶段,井口压力、温度较高,采出气中含有大量的饱和水,影响测试平台内工艺设备和采气管线的正常运行.基于此,对饱和水进行现场取样与测试分析,探究测试平台的积液原因.针对积液原因,提出了在波纹板分离器前安装间壁式换热器的方案,以降低波纹板分离器入口的气流温度和饱和水质量浓度,并采用Fluent软件对换热管内部... 相似文献
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针对桥梁监控迫切需求,基于无线传感器网络的桥梁监控系统进行网络仿真模型的搭建,对具有代表性的路由协议在NS2下进行仿真,并对仿真结果进行分析,得出结论:AODV路由协议较适合桥梁监控系统的需求。 相似文献
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《Structure and Infrastructure Engineering》2013,9(4):285-294
For efficient management of various structures in a large highway network, systematic handling of data is essential since its volume has swollen over the years and it takes different forms such as diagrams and photos. The Maintenance Information Management System established by Hanshin Expressway Public Corporation (HEPC) is a computerized database and a processing and reference system of all bridge structure elements. As it is a comprehensive application, HEPC is also developing its own version of a bridge management system, which helps to plan annual budget allotments and work prioritization using the life cycle cost minimization rule. Both systems are tools to support a rational decision-making process of maintenance/repair programmes under the recent curtailed financial situation. 相似文献
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本文重点介绍有关半导体及集成电路工业生产及相关科研教学单位中使用的工艺加工设备的日常运行管理与技术维护,内容涉及设备在生产总厂完成最终测试后的现场用户技术检验、设备的安装与调试程序(开箱检验与搬入、连接与安装、硬件调试与验收、工艺调试与验收、特殊工艺调试与验收)、设备在保修期内和保修期之外的技术维护等所有环节。明确给出在上述各时期用户与设备生产厂商双方权力与义务、具体工作内容、各项技术要求及相关管理内容,希望能够对从事与半导体及集成电路工艺加工设备相关工作的广大同行有一参考作用。 相似文献
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本文在分析现有城市地道桥雨水泵站监控系统的基础上,提出了一个基于WIA技术的城市地道桥雨水泵站监控系统方案,详细介绍了方案的系统原理、系统结构、系统功能。 相似文献