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采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
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介绍了Freescale公司嵌入式微处理器MCF5282的原理、特点,给出了该处理器在嵌入式操作系统uClinux下通过I2C硬件扩展数字输入的原理,以及I2C总线的驱动程序设计流程. 相似文献
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芬兰地处北欧,是世界上森林覆盖率最高的国家。这里地广人稀,资源丰富,人们的生活富足且悠闲,是个适合孕育精品的地方。事实上,芬兰的工业产品品牌就属于少而精的一类,像NOKIA(诺基亚)就是一个很好的例子。回到音响上来,Genelec(真力)就是目前全球监听箱最火爆的品牌;前几年又出了Amphion(奥德菲尔),旗下的Argon2(夜莺)音响名重一时。那么,今天的主角Penaudio的Charisma音箱是否又能为我们带来新的惊喜? 相似文献