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本文综术了集成电路工艺的Cu布线中Cu薄膜化学气相沉积(CVD)的研究背景,详细介绍了CVD生长Cu金属薄膜的国内外研究进展及CVD对前趋物的要求,并对前趋物的一些物理、化学性质进行了总结,最后,对薄膜沉积的计算机摸拟作了简要介绍。 相似文献
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据有关媒体报道,德国科学家近日发现了一种硬度接近金刚石的不含碳材料。这一成果对于依赖于金刚石进行切割及钻孔的技术和工业有着重要影响。[第一段] 相似文献
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当前,复合材料在软塑包装,电线电缆屏蔽膜、装饰材料用高光膜等方面应用得越来越广泛,这其中有着胶粘剂的功劳。正是通过胶粘剂的粘接作用,才能把各种不同性能、各有所长的基材结合为一个整体,从而生产出兼具各家所长、功能全面而均衡的复合制品。 相似文献
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