串联MEMS开关的瞬态电磁场分析

提出了一种串联MEMS开关的电磁耦合模型，并且应用该模型，对采用表面硅工艺和体硅工艺制作的MEMS开关，采用全波分析方法，进行了瞬态电磁场分析。由于开关尺寸为微米量级，而驱动电压高达40～60V，这样的瞬态高压有可能对开关上的信号产生影响。理论仿真结果显示，开关驱动路对信号路有很强的耦合场存在。实验结果同样显示，耦舍到信号路的信号可以输入信号产生最大值为60％的失真。     

《微电子机械系统》

本书介绍了微电子机械系统（MEMS）的相关基础知识、MEMS主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨，主要内容分为五个部分，首先介绍MEMS的相关力学量测量方法，使读者对力学量方面的知识有详细的了解，然后介绍MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍MEMS中的传感器部分，包括传感器的原理、结构和实现方法，     

精彩问答

主持人:对于Olympus,要看到能用牙齿发传真还要等多久?除此之外,我们还会看到MEMS以哪些方式用在人们携带的装置上?     

业界快讯

<正>应用材料公司推出新Carina系统克服高k介电常数/金属栅极刻蚀难题应用材料公司推出Centura(r)Carina(tm)Etch系统用于世界上最先进晶体管的刻蚀。该系统能提供45nm及更小技术节点上采用高k介电常数/金属栅极的逻辑和存储器件工艺扩展所必需的材料刻蚀轮廓,是目前唯一具有上述能力并可以用于生产的解决方案。这套系统高性能的关键之处在于其拥有知识产权的高温阴极。高温工艺可以提供平坦垂直的轮廓,不会产生传统温度工艺下带来困扰的高k介质材料残留和硅材料凹陷。     

MEMS传感器 电子产品设计中的“明星”

汽车和消费类电子工业正在不断增加对MEMS传感器的应用。这些传感器用在何处？如何使用他们？本文将作简要分析。作者同时引用Frost＆Sullivan公司的研究报告，对未来五年内市场的走势进行了预测。     

MEMS麦克风带来超清晰录音功能

微机电系统（MEMS）是一种通过以硅为原材料的、将微电子和微机械技术集于一体的微细加工技术，实现各种机械元件、传感器、触动器和电子电路在硅片上的集成。     

基于DSP的闭环光纤陀螺研究

提出了一种基于DSP的全数字闭环光纤陀螺设计方案。文中对该闭环光纤陀螺的A／D、D／A等部分间的时序逻辑进行了设计和实现。讨论一种通过反馈调整D／A的基准电压来实现对2π复位不准确的控制。给出几个重要参数的测定方法和实验结果。     

MEMS/MOEMS在光通信中的应用

微机电系统（MEMS）在光学领域中的应用是其最重要的应用之一，其原因不仅在于微机械技术能够改善光学系统的性能和功能，还因为这些光学微系统能够满足市场对光通信网络、数据存储和传感器的需求。本文以MEMS光开关等为例，讨论了基于MEMS技术的各种光电器件在光通信网络中的发展趋势。     

光纤陀螺的研究评述

光纤陀螺是一种完全不同于常规机电陀螺的光电传感器,具有工艺简单、体积小、重量轻、启动速度快、灵敏度高、动态范围大、抗冲击和耐过载等一序列的优异特性,在航空、航天、航海及地质、石油勘探及其它国民经济领域中具有广阔的应用前景,是当前国内外惯性技术领域内的研究热点,越来越受到人