a—Si等离子体刻蚀的研究

将等离子体刻蚀应用于非晶硅的刻蚀中,得到边缘整齐、分辩率高、重复性好、图形清晰的满意效果。通过调整工艺条件,可严格控制刻蚀速率。其特点优于湿式化学腐蚀,是一种非晶硅特性研究和器件制造中值得推广和使用的方法。     

废电解液除杂制取硫酸铜和粗镍

介绍了废电解液除杂制取硫酸铜和粗镍的主要工艺条件及试验结果。在废电解液中加入CH80调节pH值到一定范围后,再加入CH64将电解液中Fe2+等杂质除去,铁的去除率可达到94%～98%。然后向滤液中加入CH80调节pH值沉淀铜。过滤后的滤饼用H2SO4溶解后再结晶,可得到CuSO4·5H2O晶体。滤液中加入Na2CO3沉淀镍,过滤后的滤饼即为粗镍(NiCO3)。铜和镍的回收率分别达96%和90%。该流程简单,投资少,效益高,环境保护好,在工业上有较广的应用前景。     

RF antenna analysis with the ICANT code

The ICANT code computes self-consistently the surface current distribution on a 3D antenna model radiating in a plasma or vacuum and has been used to analyze the coupling properties of various antenna models. In this work it is used to assess near-fields generated by different versions of the TCABR (Tokamak Chauffage Alfvén wave heating experiment in Brazil) antenna as well as coupling properties of the TEXTOR tokamak in Forshungszentrum Jülich. Two different strap models planned for the TCABR antenna are shown to be practically equivalent in terms of maximum electric field. Textor coupling calculations are close to experimental values.     

彩色等离子体显示器的新进展

扼要地介绍了近年来世界上各大公司对彩色PDP的结构和驱动方法的改进 ,将现今彩色PDP的亮度、对比度和色纯度等主要性能与过去相比 ,得到明显的改善 ,达到了与高清晰度CRT相当的性能。     

低压宽温高频铝电解电容器工作电解液

在传统的己二酸铵/乙二醇加水体系中,通过增加水的含量实现高电导率,同时在电解液中添加多种有机高分子物质形成复合添加剂,改善工作电解液的高温稳定性,使电容器上限工作温度扩展到105℃,形成高频宽温低阻抗工作电解液。     

聚氧化乙烯—聚磷酸钠共混物的钠离子导电性

研究了聚氧化乙烯-聚磷酸钠共混物的钠离子导电性和低分子量多缩乙二醇对共混物导电性的改进作用。结果表明,降低多缩乙二醇的分子量以及增加其含量都有利于提高共混物的离子导电率。增塑剂改进共混物导电性的实质是提高共混物的非晶相含量,共混物内钠离子传导发生在非晶区,聚合物链段运动是离子传导的主要推动力。     

等离子炉炭热法冶炼钼铁

等离子炉炭热法冶炼钼铁是利用炭在高温下的强还原性，以炭热和等离子热代替金属热．直接得到优质钼铁。     

GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究

用Ｎ２气和ＮＦ３反应气体，在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶ＡＺ１５１８作掩模，均匀、快速刻蚀ＳｉＯ２，ＳｉＯＮ，Ｓｉ３Ｎ４，ＷＮ，Ｗ等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术，将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示，实现了计算机辅助监控和终点检测技术。     

微波电子回旋共振等离子体技术及其应用

微波电子回旋共振等离子体是淀积薄膜、微细加工和材料表面改性的一种重要手段。由于这种等离子体电离水平高,化学活性好,可以用来实现基片上薄膜的室温化学气相淀积和反应离子刻蚀,因此对于微电子学、光电子学和薄膜传感器件的发展,这种等离子体会具有重要的意义。此外,采用微波电子回旋共振等离子体原理,没有灯丝的离子源可以提高离子源的使用寿命,可以增加离子束的束流密度。可以确信,微波电子回旋共振等离子体的发展,将把离子源技术提高到一个新的水平。显然,这必将对材料表面改性工艺,包括离子注入掺杂等工艺的发展发挥作用。自从1985年以来,为了得到大容积等离子体而发展了微波电子回旋共振多磁极等离子体,这些技术在薄膜技术、微细加工以及材料表面改性中的应用前景是乐观的。我们将在本文中,介绍微波电子回旋共振等离子体的原理及其应用。     

交联型聚醚聚氨酯的表征、力学性能及其碱金属盐络合物的导电性能

采用三羟甲基丙烷（ＴＭＰ）作交联剂与聚乙二醇（ＰＥＯ－１５４０）和甲苯二异氰酸酯（ＴＤＩ）反应，得到了具有较好力学性能的交联型聚醚聚氨酯（ＰＥＵ），该聚合物与ＬｉＣｌＯ４的结合物具有较高的室温电导率（σ３０℃＝１．８７×１０￣（－４）Ｓ／ｃｍ）。采用全反射红外光谱（ＡＴＲ－ＩＲ）对聚合物的结构进行了表征。对聚合物的组成、不同ＴＤＩ类型及络合盐浓度对聚合物力学性能及其络合物电导率的影响进行了探讨。低度交联聚合物的络合物，其电导率与温度的关系符合建立在自由体积理论上的ＶＴＦ方程，表明络合物中离子的传导主要是在无定形区域进行，与自由体积有关。