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41.
In this paper, a class of CMOS biquadratic filter suitable to work at VHF/RF frequency range is presented. The proposed circuit has a simple structure which is analyzed and designed according to a universal G m-C biquad filter. Simulation and experimental results show that these filters can work in GHz range and have wide tuning range.  相似文献   
42.
应用于MEMS的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺   总被引:2,自引:1,他引:2  
开发了单晶硅上的选择性无电镀铜、镀镍工艺,形成了较为优化的施镀流程,实现了保形性、均镀性较好的铜、镍及其复合镀层.其中针对单晶硅表面的特点,采取了浓酸处理和氧等离子轰击两种表面预处理方法,优化了氯化钯对表面的激活时间,使得镀层质量得到提高.提出了以镍作为中间层以减小镀层应力的方法,施镀后获得的铜镀层的电阻率为2.1μΩ·cm,铜/镍复合镀层的方块电阻为0.19Ω/□.在单晶硅MEMS电感结构上实现了较好的无电镀铜,使得该元件的品质因数超过25.  相似文献   
43.
适用于高品质射频集成电感的多孔硅新型衬底制备技术   总被引:1,自引:1,他引:1  
周毅  杨利  张国艳  黄如 《半导体学报》2005,26(6):1182-1186
提出了背向选区腐蚀生长多孔硅的集成电感衬底结构.ASITIC模拟证明,该新型衬底结构的集成电感在高频下仍具有较高的品质因子.采用此工艺,在固定腐蚀液配比的条件下,变化电流密度和阳极氧化时间,制备出了高质量的厚膜多孔硅,并测量了多孔硅的生长厚度、孔径大小和表面形貌,得出了多孔硅生长速率随阳极氧化时间和电流密度的变化关系,为背向选区腐蚀工艺制备高品质硅基集成电感奠定了理论和实验基础.  相似文献   
44.
提出了一种用常规硅工艺实现的片上集成电感的螺线型新结构.制造工艺使用标准双层金属布线的常规硅工艺.测量了螺线型集成电感的S参数,从测量数据计算了集成电感的参量.实验的侧向螺线型片上集成电感的Q值峰值为1.3,电感量为22nH.对用两层金属层实现的侧向螺线型片上集成电感和单层金属的常规平面螺旋电感的实验结果进行了比较,电感量和Q值与常规平面螺旋电感有可比性.  相似文献   
45.
谐振腔本征值问题的多极理论分析   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
本文给出用多极理论分析谐振腔本征值问题,以及用多极理论分析谐振腔本征值问题的使用规则。通过数学分析,导出用多极理论分析谐振腔本征值问题的计算公式。实例计算结果表明:用多极理论分析谐振腔本征值问题不仅具有较高的计算精度,而且可方便地应用电磁工程问题的设计与计算,是一种有效的谐振腔本征值问题分析方法。  相似文献   
46.
本文分析了现在高速电路板设计时普遍存在的电源完整性问题,并针对这些问题提出了解决方法.  相似文献   
47.
通过对叠层片式电感器短路失效样品的电性能测试和显微分析可知,叠层片式电感器的短路主要为引出端短路和介质层短路,其根源在于铁氧体的粒度、浆料分散性、丝网制作及烧结工艺,通过完善球磨工艺、改变加料方式、减少丝网乳胶厚度、控制成型和烧结工艺,可使短路率由15%以上降低为6%以下。  相似文献   
48.
一种基于物理模型与遗传算法的平面螺旋电感的优化技术   总被引:2,自引:4,他引:2  
针对 CMOS RF平面螺旋电感的物理模型 ,提出了一种使用遗传算法优化电感设计参数的优化技术 .应用这种技术 ,人们无需再通过等 Q值线来求取 Q值最佳的电感设计方案 ,因为等 Q值线的计算代价很高 ,而且一旦工艺条件改变 ,所有的等 Q值线都要重新计算 ,效率很低 .而这里提出的优化技术在计算时并没有将所有的电感版图设计方案都计算一遍 ,因而计算效率大大提高 .计算结果与相应设计方案的测量参数比较 ,只有约 5 %的计算误差 .计算结果与相同条件下的等 Q值线的最佳设计方案比较 ,这种优化技术总能得出与之基本一致的最佳方案 .事实上 ,由于这种优化技术  相似文献   
49.
设计出一款可应用于RFID(Radio Frequency Identification)系统的5.8GHz传统矩形微带天线,天线辐射贴片尺寸为15.74mm×11.12mm,天线的回波损耗(S11)的实测结果为-23.276dB。此后,在矩形微带天线基础上进行设计改进,通过分别蚀刻15个超材料结构I型谐振环和6个超材料结构开口谐振环(Split Resonant Ring, SRR),构造出两款新型小型化天线。与传统矩形天线相比,在保持方向性、最大增益等参数性能基本不变的条件下,基于超材料结构的天线辐射贴片尺寸分别为12.44mm×9.12mm 和11.74mm×9.1mm,相比传统矩形天线分别缩小了35.2%和41.82%,辐射贴片小型化效果明显,其回波损耗实测结果分别为-21.83dB 和-15.40dB。  相似文献   
50.
通过近似计算和试验确定了工程规模的铝合金电磁铸造(EMC)基本工艺参数如感应器电流、电压、频率、功能消耗等一液柱高度及稳定性的关系,设计制造了EMC装置,成功地铸造了截面直径为0.18m,0.11×0.05m,0.52×0.13m的铝及铝合金锭和扁锭。  相似文献   
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