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微机电系统(MEMS)工艺已被广泛用于制造各种硅基薄膜器件.声表面波(SAW)器件是性能优良的MEMS器件.该文利用多物理耦合场软件COMSOL Multiphysics仿真了氧化锌/硅(ZnO/Si)结构SAW谐振器,并得到其S11参数.对应于仿真,该文制造了该种结构的SAW器件.实验所用的ZnO通过射频磁控溅射制备,所制备的ZnO具有良好的(002)取向.实验测得的ZnO/Si结构SAW器件的中心频率为111.6 MHz,与仿真结构接近. 相似文献
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采用射频(RF)磁控溅射法在金刚石(111)衬底上沉积LiNbO3(LN)薄膜,借助X射线衍射技术(XRD),研究了外加偏压(0~80V)和衬底温度(200~500℃)等工艺参数对LiNbO3薄膜结构和取向性的影响。实验结果表明,在衬底温度为200℃、外加偏压为~80V的T艺条件下,LiNbO3的(006)衍射峰强度超过LN的(012)衍射峰强度,在金刚石(111)衬底上获得较高c轴取向的LN薄膜。并且对C轴择优取向LN薄膜的形成机理进行了探讨。 相似文献
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杨秀芝 《武汉理工大学学报(材料科学英文版)》2011,26(1):114-117
The measurement of thermal cycle curves of a high-strength low-alloy steel (HSLA) subjected twin-wire submerged arc welding (SAW) was introduced. The thermal simulation test was performed by using the obtained curves. The impact toughness at -50 ℃ temperature of the simulated samples was also tested. OM, SEM and TEM of the heat-affected zone (HAZ) of some simulation specimens were investigated. The results showed that the HSLA endured the twin-wire welding thermal cycle, generally, the low-temperature toughness values of each part of HAZ was lower than that of the parent materials, and the microstructure of coarse-grained zone(CGHAZ) mainly made up of granular bainite is the reason of the toughness serious deterioration. Coarse grain, grain boundary carbide extract and M-A island with large size and irregular polygon, along the grain boundary distribution, are the reasons for the toughness deterioration of CGHAZ. The research also showed that selected parameters of twin-wire SAW can meet the requirements to weld the test steel. 相似文献
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在声表面波(SAW)谐振式无线传感器的频率估计中,该文提出了一种奇异值分解(SVD)与快速傅里叶变换(FFT)相结合的频率估计算法。首先采用重复采样的方法对无线SAW谐振器回波信号进行提取,然后在FFT之前利用SVD法去除回波信号中的白噪声,最后通过高斯曲线拟合法对FFT算出的频率进行校正。运用该算法得到的频率均方误差为1.53×103,而直接用FFT算法均方误差为2.38×10~3,均方误差减小了55%。可见,利用该SVD与FFT相结合的频率估计算法在准确度、稳定性方面都有很大改善,且该算法操作简单,易于实现。 相似文献
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基于应变设计的极地管线对管体的性能有严格的要求。对采用UOE和螺旋焊工艺生产的X80输送管进行了比较,由于冷扩径UOE工艺具有一定程度的应变强化,因此,UOE钢管相比螺旋焊管对于钢管涂敷更为敏感。UOE钢管具有管体纵向与管体横向强度更为均衡的优势,管体横向的强度更高一些,使其能够达到钢级的最小规定强度的要求;而管体纵向的强度更低一些.能够实现环焊缝的过匹配。对于基于应变设计,2种类型的钢管既有优势也有劣势,在低温涂敷作业时,UOE钢管能够保持良好的形变强化能力。 相似文献
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孙一帆 《数字社区&智能家居》2009,(34)
多点触摸(Multi-touch)是当前数字产品领域最灸手可热的交互技术。该文介绍了多点触摸的基本概念、市场状况,阐述了多点触摸技术的发展历史,以及各种多点触摸的实现技术。 相似文献
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Hashimoto有限元程序是日本Chiba大学研究人员从1973年开始、历时几十年用Fortran语言编写、计算声表面波在周期栅阵中传波特性的一个软件包。该程序能计算Rayleigh波、漏表面波、SH型表面波、表面横波等多种声表面波的传输特性,同时它能适用于一个周期内单根指条、两根指条和多根指条及声表面波在栅阵中斜入射的情况。该程序已在声表面波(SAW)研究人员中得到了广泛的应用。 相似文献
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本文介绍了用于DPSK调制的DS扩频信号非相干检测的一种SAW器件的设计方法。对所研究的差分延迟功能均集于单一器件中。因为没有采用独立的延迟线,故消除了带限影响,DPSK解调器延迟支路无插入损耗。 相似文献
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