单晶硅各向异性湿法刻蚀的形貌控制

针对摆式微加速度计的制作,对利用两种添加剂共同修饰的TMAH刻蚀液的单晶硅湿法刻蚀技术及其相关刻蚀特性进行了研究。分析了两种添加剂之间的作用机理及对单晶硅湿法刻蚀的影响,选择合适的添加剂刻蚀液配比,实现了稳定的刻蚀形貌控制。通过两种添加剂的共同作用,获得了具有光滑刻蚀表面(粗糙度约为1nm)和良好凸角保护(凸角侧蚀比率小于0.8)的刻蚀形貌。实验结果表明,在三重溶液(TMAH+Triton-X-100+IPA)下的刻蚀形貌具有明显优势。最后,基于添加剂对疏水性单晶硅材料的作用机理及表面张力调节,表面活性剂和酒精类添加剂之间的相互作用分析了刻蚀形貌发生变化的原因。以典型悬臂梁-质量块的制作为例,验证了采用该单晶硅刻蚀形貌控制方法可以获得微加速度计光滑的悬臂梁表面和无需凸角补偿的完整质量块。相比于其它制作工艺,该方法简单、易操作,有利于提高微机电器件的性能。     

Seismic risk analysis for reinforced concrete structures with both random and parallelepiped convex variables

This article develops an improved seismic risk assessment formulation exhibiting both random and bounded uncertainties using a probability and parallelepiped convex set mixed model. Limit thresholds for different types of components are described via a probabilistic model. The distribution parameters of limit thresholds are originally treated by employing a multidimensional parallelepiped convex model, in which marginal intervals are utilised to represent scattering levels for the distribution parameters, while relevant angle are employed to express the correlation between uncertain distribution parameters. The structural responses, i.e., engineering demand parameters (EDPs), are considered as correlated random variables and are assumed to follow a multidimensional lognormal distribution. A performance limit state function, which allows considering the relationship between the EDPs and the corresponding limit thresholds, is employed to reflect the coexistence of both random and parallelepiped convex variables. The limit state function is mapped into the standard parameter space via a transformation technique. Then, the improved seismic risk formulation, characterised through a probability and parallelepiped convex mixed variables, can be derived with the combination of the seismic fragility function and the ground motion hazard curve. The main purpose is to illustrate that the performance limit states should be properly modeled as random and parallelepiped convex mixed variables rather than only random or deterministic quantities. A six-story reinforced concrete building designed according to Chinese codes are used to illustrate the proposed approach for constructing hazard curves. The interstory drift and the peak floor acceleration are the selected EDPs, calculated through incremental dynamic analysis. The results demonstrate that the calculated failure probabilities for different limit states in 50?years are found capable of meeting the requirements of Chinese seismic norms after the proposed seismic risk formulation is adopted.     

探讨煤矿井巷竖曲线标定的新方法

针对近几年来煤矿井巷大型竖曲线测量标定和工程使用中存在的问题，根据曲线方程理论，提出了一种简单易行的新方法，即方程铅垂法。用这种方法可求出弦腰线上任一点距竖曲线巷道底板的铅垂距离，从而提高巷道成形精度并方便质量检查。     

基于激光三维扫描的人体特征尺寸测量

提出了一种利用三维人体点云数据测量人体关键尺寸的方法。应用线结构光激光三维扫描仪对特定站姿的人体进行扫描,获得完整三维人体点云。根据人体视线和脚尖的同向性及两腿的自然分开特征,对点云进行方位调整,使人体朝向z轴正方向。利用手动删除和最大连通域删除相结合删除噪声点。确定人体的6个特征点和20个特征平面,分别应用对应截面y坐标差值法测量长度尺寸,凸壳法测量截面周长,测量了34个人体关键长度和周长,对影响测量精度的因素进行了分析。结果表明,典型尺寸测量误差小于3%,可满足人类工效学等领域快速测量人体特征尺寸的要求。     

全息离子束摆动刻蚀凸面闪耀光栅制备技术

高衍射效率的凸面闪耀光栅是高光谱分辨率成像光谱仪的核心分光元件,其制作方法包括机械刻划法、电子束直写法、X射线光刻法、全息离子束刻蚀法等,其中全息离子束刻蚀法因为具备良好的各向异性,不受尺寸与曲面形状限制,杂散光低,完全没有鬼线,制造时间短等优点成为现今光栅制造领域常用方法之一.传统全息离子束刻蚀凸面光栅时基底的弯曲会...     

Nonlinear optimization of load allocation in a manufacturing system

Muchresearchhasbeendoneintheareaofloadal locationinamanufacturingsystem.InRef.[1],loadbalancingistakenastheobjectivefunctionandtheLPmethodasitscomputationaltool.Althoughtheresultisgreatlyimprovedincomputationalcomplexityanddiffi cultycomparedwiththeMulti …     

基于有限元烘缸缸盖结构的分析

通过对烘缸的整体有限元分析,比较了常用的凹形缸盖烘缸和凸形缸盖烘缸的应力,并对缸盖的主要受力影响因素——压力、幅宽和转速进行了分析比较。结果表明,采用凸形缸盖的烘缸既可以提高车速、增大烘缸的使用压力和幅宽,适用于高速宽幅纸机,又可以降低成本、提高经济效率、减轻烘缸质量。凸形缸盖烘缸是造纸机烘缸的发展趋势。     

高频雷达电台干扰抑制的稳健最小二乘方法

为对抗工作环境下的非平稳短波电台干扰,本文基于对偶极化的高频地波超视距雷达接收系统提出了新的稳健最小二乘抗干扰算法,改善高频雷达目标检测的性能.该方法基于凸空间最优化的思想,修正水平极化辅助天线接收数据,设定最大的环境误差范围,保证在最差误差环境下的最优干扰抑制性能.通过转换该凸最优的约束方程为简单的一维搜索,提出了最优加权系数的有效求解方法.实验数据处理结果表明了方法的有效性.     

基于凸闭包集的不规则三角网算法研究与实现

不规则三角网是影响土石方量计算的关键问题之一,虽然目前已有大量研究人员对Delaunay三角网进行优化,但仍然缺少对三角网生成速率和计算精度的综合研究。针对此问题,基于VB.NET平台的点、边以及三角形的结构化数据结构设计快速生成凸闭包集形成Delaunay三角网,通过四边形空圆特性以及对角线最短原则对构网结果进行检验和优化。试验计算表明,该算法的计算结果与经典DTM法、方格网法的土方量计算相对误差均在0.30%以内。该方法不仅具有较高的组网效率,并能保持较好的计算精度。     

带有多个反凸约束的线性规划

讨论带有多个反凸约束的线性规划。这类问题由于其内在困难性（可行域一般为非凸不连通集）而难以求解．提出了一个切平面算法，并对Ｈｉｌｌｅｓｔａｄ的例子执行了算法。