金刚石线锯切割单晶硅表面缺陷与锯丝磨损分析

采用电镀金刚石线锯对单晶硅进行了锯切实验,使用扫描电子显微镜对单晶硅锯切的表面缺陷与锯丝失效机理进行了研究,分析了走丝速度和工件进给速度对锯切单晶硅表面缺陷特征的影响.分析发现:线锯锯切的硅片表面缺陷主要有较长较深的沟槽、较浅的断续划痕、材料脆性去除留下的表面破碎及个别较大较深的凹坑.走丝速度增大,工件进给速度降低,锯...     

金刚石线切割单晶碳化硅锯切力的实验研究

从锯切力的角度对金刚石线锯锯切单晶SiC材料的加工过程进行了研究。得出了线速度、进给速度、线锯张紧力对锯切力的影响规律。从单位长度线锯材料去除量、锯切比能的角度讨论了锯切工艺对锯切力的影响机理。在金刚石线锯锯切单晶SiC过程中,锯切力随着线速度的增大而减小,随着进给速度的增大而增大,线速度与进给速度对锯切力的综合影响表现为:单位长度线锯材料去除量的增加会增大锯切力。单位长度线锯材料去除量对于金刚石线锯锯切单晶SiC材料的锯切比能具有显著的影响。     

脉冲磁处理降低金刚石锯片残余应力的研究

采用自制的实验模具,将金刚石锯片放置于脉冲磁处理仪器下进行磁处理。对金刚石锯片在脉冲磁场作用下的性能影响进行理论分析,检测磁处理前后金刚石锯片不同点处的残余应力值,分析磁处理后的金刚石锯片与未经磁处理的金刚石锯片的断口形貌。研究结果表明:磁处理后的金刚石锯片残余应力降低,断口处微观组织得到细化,说明脉冲磁处理可以有效改善金刚石锯片的力学性能。     

半导体晶体线锯切割工艺研究

线锯切割技术在半导体晶体切割领域已经得到了广泛应用。对传统内圆切割技术进行了介绍,并针对新兴线锯切割技术的现有分类和研究水平做了总结,阐述了自由磨料线锯切割和固结磨料线锯切割两大类别的工作原理和研究进展。自由磨料线锯切割是取代内圆切割的一种广泛技术,而固结磨料线锯切割则是针对高切割效率要求的重要改进。针对晶体线锯切割技术所做的综述,有助于研究者了解前沿研究进展,把握晶体线锯切割的发展方向。     

基于后峰锯齿波冲击的瓦楞纸板包装系统研究

以瓦楞纸板平压本构模型为基础,利用在实验中得出的瓦楞纸板力学模型,建立了瓦楞纸板非线性缓冲包装系统的动力学方程;采用后峰锯齿波激励,建立了状态方程,并对非线性振动方程应用四阶龙格-库塔数值法求解,得到了不同阻尼系数的冲击谱和破损边界曲线及不同相对脉冲幅值的冲击谱和破损边界曲线;最后详细讨论了阻尼系数c、激励幅值U″m对冲击谱曲线和破损边界曲线的影响,为瓦楞纸板的选用提供了科学依据.     

金刚石干切圆锯片热应力和离心力耦合分析

本文建立了干切圆锯片有限元分析模型,用热应力和离心力相互耦合的分析方法,对圆锯片在高速旋转切削时锯片基体应力和应变进行了计算,分析了工作中圆锯片基体应力、应变分布规律,探讨了圆锯片基体各种结构参数对工作中基体应力及变形的影响。分析结果表明,锯片的离心力对锯片产生有利的刚化作用,能在一定程度上减小锯片切削热引起的切向变形和应力,在相同的栽荷作用下,基体开有小圆孔的锯片能有效的降低锯片的径向变形,径向变形量减小19．8％左右,但基体开散热圆孔对减小锯片切向变形量和水槽底部应力并无贡献。     

晶圆切割中背面崩裂问题的分析

半导体技术不断发展,越来越多的新材料、新工艺应用在晶圆制造中。这对封装核心工序的划片工艺提出了很大挑战。在划片工艺中背面崩裂的控制是一个难点。文章主要是从工艺材料、工艺条件、划片刀以及设备四方面分析产生背面崩裂的主要因素以及优化方法。同时介绍了两种控制背面崩裂较有效的切割工艺：减少应力的开槽切割工艺和DBG工艺。     

锯片基体材料的非调质生产工艺

为了降低锯片基体生产成本并提高产品质量,以特定Si-Mn系试验钢为研究对象,采用TM CP工艺对新型锯片基体材料进行了研究.利用扫描电子显微镜、拉伸试验机等试验设备对基体材料的组织和力学性能进行了分析测试.结果表明,当轧后冷速为32.3℃/s时,可以获得以细小束状贝氏体为主的显微组织,且该冷速下基体材料的抗拉强度、屈服强度可以分别达到1 315与1 030 M Pa,冲击吸收功可以达到53.9 J,同时试验钢的弹性模量与弹性极限分别为198.5 GPa和915.4 M Pa.此外,经过8万次循环载荷作用后,试验钢的三点弯曲永久变形高度为0.21 mm,试验钢表现出较好的综合机械性能.采用非调质工艺生产的Si-Mn系贝氏体钢可以用作锯片基材.     

有效探测面积大于1000 cm2的正比计数器测量系统性能测试

为对自制的活性面积高达1 000 cm²的大面积源进行表面发射率定值,同时作为现有2πα、2πβ表面发射率标准装置能力的扩充,研制了一套内置式大面积2π多丝正比计数器测量系统,并利用活性区直径为8 mm的²⁴¹Am点源及活性区面积为10 cm×15 cm的大面积²⁴¹Am和⁹⁰Sr-⁹⁰Y源对其进行计量学性能测试。结果表明：计数器内计数响应均匀性优于±0.4%,有效探测面积达1 400 cm²;所得²⁴¹Am源高压坪曲线的坪长为1 400 V,坪斜为0.27%/100 V,坪区内计数变化为0.87%;⁹⁰Sr-⁹⁰Y源高压坪曲线的坪长为300 V,坪斜为0.75%/100 V,坪区内计数变化为0.80%;10次测量重复性好于0.4%,8 h内短期稳定性好于0.3%,1 a内长期稳定性好于0.8%。     

电镀制备金刚石线锯时扫砂管喷砂口流速的仿真分析与实验研究

针对电镀金刚石线锯的过程中采用一端进液扫砂管时上砂槽内沉砂、上砂不均等现象,设计了中间进液扫砂管,并在1.40 m/s和1.80 m/s的入口流速下对两种扫砂管进行了流场仿真分析及实验研究。结果表明,两种结构扫砂管的仿真分析与实验结果都比较吻合。在研究的入口流速下,一端进液扫砂管上距离入水口最远的喷砂口的流速最大,随着喷砂口与入口距离的减小,流速逐渐减小;中间进液扫砂管左右两端喷砂口的流速最大,入水口两侧的流速大致对称分布。中间进液扫砂管在上砂槽内的搅拌效果优于一端进液扫砂管。