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在半导体圆片生产工艺中,快速热处理(也称“热退火”)是半导体圆片经过注入工艺后必不可少的工序之一。半导体圆片快速热处理设备是半导体器件生产的关键设备之一。自从20世纪60年代初,离子注入技术作为新的半导体掺杂工艺以来,大大促进了半导体集成电路的发展。而集成电路的 相似文献
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本文阐述了履带起重机伸缩式履带底盘的结构特点,分析了H型车架外伸梁等截面根部结构的缺陷,并推介了一种车架外伸梁根部及履带架连接方洞处皆采用变截面的伸缩式履带底盘结构,有效解决了外伸梁根部的应力集中问题。 相似文献
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SCB60煤层气钻机的研制 总被引:1,自引:1,他引:0
为了提高我国煤层气钻井装备的技术水平,研制了SCB60煤层气钻机。这种新型钻机采用全液压顶驱技术,钻井可使用空气、钻井液和泡沫多种循环介质,从而实现多工艺钻进技术。该钻机为车载式钻机,底盘车和钻机所需的液压动力共用1台发动机,专用底盘车、伸缩式桅杆井架、可翘式动力头、换杆器、液压传动及控制系统的设计,实现了煤层气钻机所需要的专用功能。样机的试验表明,该钻机具有通过性好、提升能力强、钻井效率高、安全环保、运行平稳可靠和操作维修方便等特点,可大力推广应用。 相似文献
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