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《微纳电子技术》2019,(6):480-485
玻璃材料近年来被广泛应用于微电子机械系统(MEMS),对于玻璃材料的加工,电化学放电加工(ECDM)是一种被广泛运用的手段。针对目前的电化学放电加工存在热影响区和过切现象的问题,提出了一种激光辅助电化学放电加工玻璃的加工方法,阐述了其作用机理,设计了实验装置,并与传统电化学放电加工进行了微通道加工的对比实验。通过与传统电化学放电加工对比,发现激光辅助电化学放电的加工方式能明显减少放电加工过程中的热影响区和过切现象,故激光辅助有效改善了电化学放电在玻璃材料上加工微通道的质量和精度,在MEMS领域具有良好的应用前景。  相似文献   
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中盐昆山有限公司迁建年产60万t纯碱项目采用8台φ3500/φ5000/φ3000大型浓气外冷碳化塔。全面分析碳化工序的生产状况:生产能力300t/d·台、轻灰堆比重平均0.61g/mL,出碱温度39℃,取出液沉淀量25%~30%,运行超过一年时间没停塔清洗。外冷碳化塔工序投资额为索尔维碳化塔工序投资额的60%左右。  相似文献   
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在武夷山"奥特莱斯"小镇进行的物探及钻探工作的基础上,分析地热资源赋存条件及形成原因。  相似文献   
18.
HFC电缆分配系统的建设与思考   总被引:1,自引:1,他引:0  
结合沧州市网络的实际情况,主要分析HFC电缆分配系统双向传输改造的建设标准和实施方案。  相似文献   
19.
大庆长垣以东地区深层天然气输导通道主要由断裂、不整合面和砂体构成。该区砂体横向分布不稳定,物性差,不是天然气侧向长距离运移的输导通道,但可以起到衔接输导作用。输导通道时该区天然气成藏与分布起到了重要控制作用,主要表现在断裂将天然气输导致上覆不同储集层中聚集成藏。不整合面和砂体将天然气输导到四周古隆起上聚集成藏。沿断裂输导的天然气形成以断层为主的构造气藏。沿不整合面和砂体输导的天然气形成以地层及岩性为主的气藏。沿断裂输导运移聚集的天然气在剖面上呈串多层分布,沿不整合面和砂体输导运移聚集的天然气在平面上呈环状分布。  相似文献   
20.
以“量子光学与冷原子物理”为主题的第79期东方科技论坛8月在上海举行。论坛由上海光机所量子光学重点实验室承办,上海光机所王育竹院士担任会议执行主席。来自美国芝加哥大学、加拿大英属哥伦比亚大学、德国俄兰根纽伦堡大学、美国国家标准与技术研究院、美国阿贡国家实验室、中科院上海光机所等海内外的高校、科研机构的30余名专家学者参加了论坛。  相似文献   
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