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介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式,即激光步进对准(LSA)。从基本的光学系统出发,介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用,搜索和增强型全局对准(EGA),详细阐述了LSA的工作原理及其对工艺的影响,最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用。 相似文献
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性能效率是APP软件的重要质量属性,但目前缺乏APP软件性能效率的通用模型。分析了APP软件的性能特征,基于ISO/IEC 25010标准提出了APP软件的性能效率模型,定义了APP软件性能效率的子特性和度量指标。基于提出的APP软件性能效率模型,通过实验对APP软件的性能效率进行了度量及相关分析。 相似文献
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煤电平均供电煤耗作为评价能源系统效率的指标已在行业内广泛应用。但该项指标无法很好地反映一个国家、地区的用电结构与用电能耗水平。为此,参照行业内普遍采用的火电厂发电煤耗和供电煤耗指标,定义“综合用电煤耗”,即用户每用1 kW?h电“消耗”的标准煤量(单位:g/(kW?h))。在此基础上,提出“综合发电煤耗”与“综合供电煤耗”的概念,形成完整的指标评价体系。对近年典型省份指标值的研究表明,该指标体系能够很好地反映供给侧国家、省区或企业的发电结构与电能生产能耗水平。这一指标体系能够为正确理解和计算用电、输电与电能替代项目的化石能源消耗量及其排放量提供依据。 相似文献
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文章分析了网络安全等级保护2.0时期国家标准的新变化对等级测评结论可能产生的影响,并用实际案例和数据论述了以往描述的基于测评指标和基于测评对象的定量分析方法存在的局限性。根据网络安全等级保护国家标准结构和内容的新特点,结合新的等级测评结论表述方法,文章提出了调整和优化定量计算产生等级测评结论的思路,给出了缺陷扣分的原理和缺陷扣分的定量计算方法,并比较了各种定量计算方法在计算结果上的差异,提出了适合新标准的测评结论定量计算公式。 相似文献
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