硅片涂胶及软烘自动设备的研制

为了提高硅片光刻工艺中-涂胶及软烘两操作的实验效率.减少手工操作可能带来对硅片表面的污染.系统采用机械手代替手工完成硅片在各工位之间自动化传输.硬件部分采用PLC作为控制核心部件,由步进电机、接近开关、光电开关、热电阻、电磁间等组成.详细介绍了软件控制方法,实现硅片精确传输、光刻胶用量控制、软烘温度检测等功能.     

基于DS18B20测温的单片机温度控制系统

介绍了以AT89S52单片机为控制核心的温度控制系统,系统采用数字温度计芯片DS18820构成测温单元,通过AT89S52的开关量输出控制固态继电器(SSR)的通断,调节烤箱内温度.采用PID控制算法可以明显改善系统的稳态性能以及稳态响应.     

一种新型高精度温度控制方法

为控制环境温度剧烈变化,对于精密仪器设备对温度精度和系统稳定性要求也随之提高,提出了一种参数自学习比例-周期控温算法,能够自动辨识系统参数和控制参数,并具有自学习能力。当环境温度快速变化时,可以采用相应的控制策略,达到理想的控制效果,适用于控制系统参数未知的场合,同时对环境温度的变化具有较强的自适应能力。仿真结果表明,算法控制精度高、自适应能力强,确实能够满足精密仪器设备对温度的精度和稳定性的要求。     

基于最优模糊PID温度控制方法研究

针对某智能大厦空调的温度控制系统,引入了一种新的模糊推理方法,设计了模糊PID控制器.该模糊推理方法将优化和反馈的思想引入推理过程中,依据不同的优化指标进行推理,使推理过程更为有效,论文给出了应用该推理方法的具体过程.以建立起的温度系统模型为基础,设计了基于最优模糊推理的温度系统模糊PID控制器,进行了仿真研究,仿真结果和实际运行表明了该控制方法具有强鲁棒性和良好控制品质.     

模糊PID控制器在火电厂温度控制系统中的应用

根据火电厂温度控制系统的特点,文章设计了一种基于模糊PID控制器的温度控制系统,介绍了该系统的结构、工作原理,详细分析了PID控制器的设计过程及其在火电厂温度控制系统中的应用。     

基于DSP平台的激光二极管控制系统

介绍了以DSP芯片TMS320F2812为核心设计的控制平台、利用半导体制冷器和光功率传感器调节激光二极管工作温度和发射功率的控制系统;设计了具有良好性能的模拟通道,提出了针对特定调节对象的PID算法.结合优化设计的执行单元实现了很好的控制效果,有效地提高了激光二极管系统的稳定性和可靠性;设计的控制系统在环境温度-10℃～50℃时能够达到±0.03℃的控制精度.     

ARM9在高精度生化分析仪温度控制系统中的应用

设计并实现了一种应用于全自动生化分析仪的高精度温度控制系统。基于ARM9系列的S3C2410处理器,结合嵌入式linux操作系统,完成硬件驱动程序和模糊自整定PID控制算法的设计,实现全自动生化分析仪反应池温度的高精度控制。运行结果表明,所设计的控制系统具有响应快,稳定性、实时性好等优点。     

基于单片机的烯油取暖器燃烧器的控制

燃油取暖器是一种使用专用煤油的家用取暖器.在燃烧过程中必须实现油的充分燃烧,才能使产生的有害气体达到最小,最大限度地利用燃料.取暖器中的关键装置是燃烧器中的油泵,单片机对油泵控制的质量是燃烧器控制的核心.实践证明,应用单片机控制脉冲式油泵能够较好地实现充分燃烧.     

基于模糊算法的生化过程温度控制系统

本文表述了一种基于模糊算法的生化过程温度控制系统,详细论述了系统的总体结构、控制算法及软件实现流程.系统采用80C196KB单片机为主控制器,控制算法采用模糊控制.本系统对于具有时变、大惯性、强时滞和非线性特点的生化过程温度控制有很好的效果.     

2μm波段DBR光纤激光器的超稳腔PDH稳频技术

报道一种可用于超稳腔Pound-Drever-Hall(PDH)稳频的2μm波段分布Bragg反射（DBR）光纤激光器及其频率锁定结果。该绝热封装的光纤激光器配备主动温度控制和压电陶瓷（PZT）频率调谐装置,可满足超稳腔PDH稳频应用。通过周期极化铌酸锂（PPLN）晶体倍频,采用PDH稳频技术将研制的1950 nm光纤激光器频率稳定到了1μm波段超稳腔频率参考上。针对DBR光纤激光器中PZT频率调谐机制只反馈调节腔长,容易在稳频过程中产生激光器跳模进而导致频率失锁的问题,笔者提出并演示了一种对DBR光纤谐振腔实施基于超稳腔频率参考的实时温度控制方案,并采用该方案实现了对DBR光纤激光器超过4周的长期频率锁定。该方案对于实现DBR光纤激光器的长期频率锁定具有较高的参考价值。