晶圆FAB厂罗茨真空泵用永磁电机研发设计与实验

为满足在晶圆FAB厂内使用罗茨真空泵的工程需求及性能要求, 本文设计了一台1.5 kW小体积高速永磁同步电机并将其作为罗茨真空泵用驱动电机。采用多极少槽的极槽配合方案, 减少变频器及供电装置中高次谐波对电机运行性能和损耗温升的影响。基于场路耦合思想及商业有限元软件, 完成了电机拓扑结构及电磁设计, 仿真结果验证了电磁设计及结构的合理性;通过三维温度场研究, 表明该设计可应用于真空泵类工程之中。最后对样机进行了电机性能实验, 实验数据与设计指标比较吻合, 对罗茨真空泵进行性能测试实验, 进一步验证了罗茨真空泵驱动用高速永磁电机设计的合理性, 新研发电机满足泵的各项性能指标要求, 研究工作具有工程实用价值。     

螺杆真空泵单头型线变双头方法研究

针对目前发展较为成熟的单头转子型线动不平衡问题,提出了一种将单头转子型线变为双头对称型线的方法。总结了该方法所适用的单头转子型线所需满足的条件,并用数学方法证明了所得到的双头型线能够正确啮合。定性分析计算了型线从单头变为双头后面积的变化,并以特定单头型线为例,计算了型线面积利用系数的变化。将特定单头型线变换得到对应的双头对称型线,用Solidworks三维软件建立转子模型并进行两个转子的装配,模拟验证了双头型线的正确性。该方法保留了原型线的接触线、泄漏三角形等特性,得到了具有较好动平衡性的双头型线。     

多级热流逸式真空泵流量与压力特性分析

基于热流逸效应工作的努森真空泵相较于传统真空泵,因具有无运动部件且结构简单的优点而倍受关注,其应用通常采用多级串联结构。文章以努森真空泵能耗和效率模型为基础,着重考虑级数与热量传递和压力分配的关系,建立了多级努森真空泵气体工质流态处于过渡流时的能耗（热流比）与运行效率模型,进而研究了影响热流比及运行效率与级数、努森数、压比、温差等参数的关系。结果表明,努森数从0.2增至8,对应的最优级数从118级减少至15级;压比从2增至100,对应的最优级数从12级增加至77级;温差从50 K增至350 K,对应的最优级数从68级减少至15级。努森数（温差）越大、或压比越小,热流比就越低（运行效率就越高）且对应的最优级数就越小,所需的最小级数也越少。若从能效优化的角度来设计多级努森真空泵,需综合考虑努森数、压比和温差的影响,确定最优级数范围。

     

水环真空泵的节水改造

水环真空泵应用广泛,针对其清水用量较大且没有得到有效的循环利用,对其进行改造,文章介绍了改造的方法和节水效果。     

LOGO!在真空负压吸引系统中的应用

医院真空负压吸引系统以真空泵作为真空获得设备,以真空罐为真空存储设备,利用真空技术吸除病人体内的痰、血、脓及其他污物,需要保证每天24小时、全年无休的全天候工作状态。采用LOGO!对两台真空泵之间自动运行及转换中的应用,分享一些学习和应用心得。     

水环式真空泵简析

介绍了水环式真空泵的原理与运行特点，对其附属设备也作了详细介绍。对相关电力行业设备具有一定的技术参考价值。     

氢冷发电机组密封油真空泵系统优化与改进

包头第三热电厂氢冷发电机组密封油真空泵系统改造前,原配备1台水环真空泵及2台罗茨泵,水环真空泵异常时,真空油箱真空无法保证,影响机组的安全稳定运行.经分析,决定在密封油真空系统中增加1台备用水环真空泵,同时取消罗茨泵组.系统改造后,机组各项技术指标均能满足要求,每年可节约厂用电量26.28 MWh.     

真空泵用反凸极永磁同步电机设计与性能分析

针对真空泵用驱动电机运行过程中存在转子温度高、散热难的问题,根据真空泵驱动工况的实际要求,设计了一台反凸极永磁同步电机和一台常规永磁同步电机。首先,利用有限元软件,分析了转子磁障尺寸对电机转矩的影响以及磁障层数对电感的影响,从而得出了转子磁障尺寸和磁障层数的合适值;其次,对两台电机的气隙磁密波形、空载反电动势和损耗等电磁性能进行了对比分析;最后,通过仿真对比分析了两台电机的温度场以及两者转子和转轴处的温升。结果表明,相比于常规永磁同步电机,反凸极永磁同步电机的转矩性能更好、转子损耗和转子温升更小,为新产品研发提供了科学的参考依据。     

浅析真空泵

真空泵是化工厂中的重要设备，此设备的好坏对化工装置影响极大。